Mandril de vacío de oblea

Perfectos para aplicaciones de litografía y manipulación de obleas de última generación, los componentes cerámicos ultrapuros de Semicorex garantizan una contaminación mínima y proporcionan un rendimiento de vida útil excepcionalmente larga. Nuestro portabrocas de vacío Wafer tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

El mandril de vacío de oblea de cerámica ultraplano Semicorex tiene un revestimiento de SiC de alta pureza que se utiliza en el proceso de manipulación de oblea. Portabrocas de vacío para obleas semiconductoras de equipo MOCVD El crecimiento compuesto tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión, lo que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos y mejora la gestión del rendimiento para el procesamiento de obleas semiconductoras. Las configuraciones de bajo contacto con la superficie minimizan el riesgo de partículas en la parte posterior para aplicaciones sensibles.

En Semicorex, nos enfocamos en brindar portabrocas de vacío tipo oblea rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros del portabrocas de vacío Wafer

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300