Tapa de la cámara de carburo de silicio

La tapa de la cámara de carburo de silicio utilizada en el procesamiento de crecimiento de cristales y manipulación de obleas debe soportar altas temperaturas y una limpieza química agresiva. Semicorex es un fabricante y proveedor a gran escala de susceptor de grafito recubierto de carburo de silicio en China. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo.

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Descripción del Producto

La tapa de la cámara de carburo de silicio utilizada en el crecimiento de monocristales o MOCVD, o en el procesamiento de manipulación de obleas, debe soportar altas temperaturas y una limpieza química agresiva. Semicorex suministra una construcción de grafito recubierta de carburo de silicio (SiC) de alta pureza que proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y resistencia consistentes de la capa Epi y una resistencia química duradera. Son duraderos para experimentar una combinación de gases precursores volátiles, plasma y altas temperaturas.
Nuestra tapa de cámara de carburo de silicio está diseñada para lograr el mejor patrón de flujo de gas laminar, asegurando la uniformidad del perfil térmico. Esto ayuda a prevenir cualquier contaminación o difusión de impurezas, asegurando un crecimiento epitaxial de alta calidad en el chip de la oblea.
Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestra tapa de cámara de carburo de silicio.

Parámetros de la tapa de la cámara de carburo de silicio

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	μm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300