Calentador de obleas de silicio

El calentador de obleas de silicio Semicorex está recubierto de carburo de silicio con MOCVD, que puede funcionar en hornos de alta temperatura con más de 3000 °C en una atmósfera inerte, 2200 °C en vacío. El revestimiento SiC es un revestimiento de carburo de silicio (SiC) denso y resistente al desgaste.
Nuestro calentador de obleas de silicio tiene propiedades de alta resistencia a la corrosión y al calor, así como una excelente conductividad térmica. Aplicamos SiC en capas finas sobre el grafito mediante el proceso de deposición química de vapor (CVD).
En Semicorex, nos enfocamos en brindar productos rentables y de alta calidad a nuestros clientes. Nuestro calentador de obleas de silicio tiene una ventaja de precio y se exporta a muchos mercados europeos y estadounidenses. Nuestro objetivo es ser su socio a largo plazo, ofreciendo productos de calidad constante y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros del calentador de obleas de silicio

Características del calentador de obleas de silicio

- Los recubrimientos de carburo de silicio utilizaron el método CVD para mejorar la vida útil.
- Aislamiento térmico fabricado en carbono rígido purificado de altas prestaciones.
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
- Recubrimiento de grafito y SiC de alta pureza para una mayor resistencia a los orificios y una mayor vida útil

Podemos proporcionar crisol de grafito anti-oxidación y larga vida útil, molde de grafito y todas las partes del calentador de grafito.