China Paleta voladiza Fabricantes, Proveedores, Fábrica

Durante el procesamiento, las obleas semiconductoras deben calentarse en hornos especializados. El reactor comprende tubos cilíndricos alargados, en los que las obleas se colocan en los botes de obleas a una distancia equidistante predeterminada. Para sobrevivir a las condiciones de procesamiento dentro de la cámara y minimizar el desperdicio de las obleas del equipo de procesamiento, los botes de obleas y muchos Otros dispositivos utilizados en el procesamiento de obleas están fabricados con un material como el carburo de silicio (SiC).

Los barcos, cargados con un lote de obleas para procesar, se colocan sobre largas paletas en voladizo, mediante las cuales se pueden insertar y retirar de los hornos tubulares y reactores. Los remos incluyen una sección de soporte aplanada sobre la cual se pueden colocar uno o más botes, y un mango largo, colocado en un extremo de la sección de soporte aplanada, mediante el cual se puede manejar el remo.

Se recomienda la paleta en voladizo para utilizar carburo de silicio recristalizado con una capa delgada de CVD SiC, que es de alta pureza y la mejor opción para los componentes en el procesamiento de semiconductores.

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