Durante el procesamiento, las obleas de semiconductores deben calentarse en hornos especializados. El reactor consta de tubos cilíndricos alargados, en los que las obleas se colocan en los botes de obleas a una distancia equidistante predeterminada. otros dispositivos utilizados en el procesamiento de obleas están fabricados con un material como el carburo de silicio (SiC).
Los botes, cargados con un lote de obleas para procesar, se colocan sobre largas paletas en voladizo, mediante las cuales pueden insertarse y retirarse de los hornos y reactores tubulares. Los remos incluyen una sección de soporte aplanada sobre la que se pueden colocar uno o más botes, y un mango largo, colocado en un extremo de la sección de soporte aplanada, mediante el cual se puede manejar el remo.
Se recomienda la paleta voladiza para usar carburo de silicio recristalizado con una capa delgada de CVD SiC, que es de alta pureza y la mejor opción para los componentes en el procesamiento de semiconductores.
Semicorex puede proporcionar un servicio personalizado de acuerdo con los dibujos y el entorno de trabajo.
La paleta voladiza de SiC (carburo de silicio) Semicorex es un componente crucial que se utiliza en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en hornos de difusión o LPCVD (deposición química de vapor a baja presión) durante procesos como la difusión y el RTP (procesamiento térmico rápido). La paleta voladiza de SiC sirve para transportar obleas semiconductoras de forma segura dentro del tubo de proceso durante diversos procesos de alta temperatura, como difusión y RTP. Sirve para soportar y transportar obleas dentro del tubo de proceso de estos hornos. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaLa paleta voladiza de carburo de silicio Semicorex es un componente especializado que se utiliza en hornos para diversas aplicaciones de procesamiento térmico. Semicorex se compromete a proporcionar productos de calidad a precios competitivos, esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaLa paleta en voladizo de cerámica SiC de carburo de silicio de gran fuerza de carga de obleas es adecuada para un sistema automático de carga y manipulación de robots porque tiene un rendimiento estable, no se deforma a altas temperaturas y una gran fuerza de carga de obleas. Semicorex se compromete a proporcionar productos de calidad a precios competitivos, esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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