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Noticias de la Industria

Breve introducción del recocido térmico rápido

El recocido térmico rápido (abreviado como RTA o RTP) es una tecnología de procesamiento térmico rápido en la fabricación de semiconductores. Su principio básico es calentar rápidamente la superficie de la oblea utilizando una fuente de calor radiante de alta intensidad (como lámparas halógenas, lás......

¿Por qué aplicar recubrimiento CVD SiC a susceptores de grafito?

La industria de semiconductores de tercera generación está experimentando una rápida expansión de su capacidad. Los procesos de epitaxia de carburo de silicio (SiC) y nitruro de galio (GaN) siguen evolucionando hacia entornos operativos de alta temperatura, materias primas de pureza ultraalta y disp......

Barco de oblea de carburo de silicio

En la fabricación de semiconductores, la oxidación implica colocar la oblea en un ambiente de alta temperatura donde el oxígeno fluye a través de la superficie de la oblea para formar una capa de óxido. Esto protege la oblea de impurezas químicas, evita que la corriente de fuga entre en los circuito......

¿Por qué los susceptores de obleas de grafito recubiertos de TaC se están volviendo esenciales para la fabricación avanzada de semiconductores?

Semicorex proporciona susceptores de obleas de grafito recubiertos de TaC avanzados diseñados para procesos de semiconductores exigentes que requieren una excelente estabilidad térmica, resistencia química y un rendimiento preciso del soporte de obleas. A medida que los fabricantes de semiconductore......

Comparación de tres anillos de enfoque convencionales

Los anillos de enfoque son piezas anulares de precisión que normalmente se instalan alrededor del plato de oblea del equipo de grabado por plasma y están expuestas directamente al plasma de alta energía durante el proceso de grabado. Su función principal es actuar como piezas de sacrificio para aseg......

Diferencias entre mandriles de vacío y mandriles electrostáticos

Como eslabones centrales indispensables en la fabricación de semiconductores, la estabilidad y precisión de la tecnología de retención de obleas impactan directamente en la eficiencia de la producción de chips y la calidad del dispositivo terminado. Los mandriles de vacío y los mandriles electrostát......

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