El nitruro de silicio (Si₃N₄) es un material cerámico estructural con una conductividad térmica intrínseca de alrededor de 320 W/(m·K), que presenta una alta conductividad térmica y excelentes propiedades mecánicas. Gracias a su estabilidad superior a temperatura ambiente, Si₃N₄ se ha convertido en ......
Leer másEn la fabricación de dispositivos semiconductores de alta gama, las películas de SiO₂ generalmente se forman mediante procesos de oxidación para el tratamiento de la superficie del sustrato, y sus aplicaciones comunes incluyen capas de barrera dopante, capas de aislamiento de superficies, capas de ó......
Leer másCon el avance de la tecnología, productos inteligentes como teléfonos móviles, computadoras, vehículos eléctricos y robots se han integrado en la vida de las personas. Estos productos contienen una gran cantidad de chips semiconductores y la fabricación de chips requiere equipos semiconductores, com......
Leer másLas obleas de silicio de alta resistividad (HR-Si), como su nombre indica, son un material de silicio monocristalino con una resistividad extremadamente alta. En el campo de la fabricación avanzada de semiconductores, la pérdida de alta frecuencia se ha convertido en un desafío importante en el dise......
Leer másEl anillo de enfoque, también conocido como anillo de compensación o anillo de confinamiento, es un componente indispensable de los equipos de grabado, especialmente los equipos de grabado en seco por plasma. Los procesos de grabado de precisión a nanoescala en la fabricación moderna de semiconducto......
Leer másAl regular con precisión los perfiles de calentamiento y enfriamiento, el proceso de recocido puede activar átomos dopantes, reparar daños en la red, alivia la tensión interna y mejora la confiabilidad eléctrica de las obleas. Estas mejoras críticas de rendimiento sientan una base sólida para el pro......
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