China Cerámico Fabricantes, Proveedores, Fábrica

Semicorex es su socio para mejorar el procesamiento de semiconductores. Nuestros recubrimientos de carburo de silicio son densos, resistentes a altas temperaturas y a productos químicos, y a menudo se utilizan en todo el ciclo de fabricación de semiconductores, incluido el procesamiento de obleas y obleas de semiconductores y la fabricación de semiconductores.

Los componentes cerámicos de SiC de alta pureza son cruciales para los procesos en el semiconductor. Nuestra oferta abarca desde piezas consumibles para equipos de procesamiento de obleas, como botes de obleas de carburo de silicio, paletas en voladizo, tubos, etc. para epitaxia o MOCVD.

Ventajas para los procesos de semiconductores

Las fases de deposición de películas delgadas, como la epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manipulación de obleas, como el grabado o el implante de iones, deben soportar altas temperaturas y una limpieza química intensa. Semicorex suministra una construcción de carburo de silicio (SiC) de alta pureza que proporciona una resistencia al calor superior y una resistencia química duradera, incluso uniformidad térmica para un espesor y resistencia constantes de la capa Epi.

Tapas de cámara →
Las tapas de cámara utilizadas en el procesamiento de crecimiento de cristales y manipulación de obleas deben soportar altas temperaturas y una limpieza química agresiva.

Paleta voladiza →
Cantilever Paddle es un componente crucial utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en hornos de difusión o LPCVD durante procesos como difusión y RTP.

Tubo de proceso →
Process Tube es un componente crucial, diseñado específicamente en diversas aplicaciones de procesamiento de semiconductores, como RTP y difusión.

Barcos de oblea →
Wafer Boat se utiliza en el procesamiento de semiconductores y ha sido meticulosamente diseñado para garantizar que las delicadas obleas se mantengan seguras durante las etapas críticas de producción.

Anillos de entrada →
Anillo de entrada de gas recubierto de SiC mediante equipo MOCVD El crecimiento compuesto tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión, lo que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos.

Anillo de enfoque →
Semicorex suministra el anillo de enfoque recubierto de carburo de silicio que es realmente estable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.

Mandril de oblea →
Los mandriles de oblea de vacío cerámicos ultraplanos Semicorex están recubiertos con SiC de alta pureza en el proceso de manipulación de oblea.

Semicorex también dispone de productos cerámicos en Alúmina (Al2O3), Nitruro de Silicio (Si3N4), Nitruro de Aluminio (AIN), Zirconia (ZrO2), Cerámica Compuesta, etc.