El portador Semicorex RTP está recubierto de carburo de silicio mediante el proceso de deposición química de vapor (CVD), que es realmente estable para RTA, RTP o limpieza química agresiva. En el núcleo del proceso de semiconductores, los susceptores de epitaxia se someten primero al entorno de deposición, por lo que tienen una alta resistencia al calor y a la corrosión. El soporte recubierto de SiC también tiene una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
● Grafito recubierto de SiC de alta pureza
● Resistencia superior al calor y resistencia química
● Alta uniformidad térmica
● Excelente resistencia al desgaste
Semicorex RTP Ring es un anillo de grafito recubierto de SiC diseñado para aplicaciones de alto rendimiento en sistemas de procesamiento térmico rápido (RTP). Elija Semicorex por nuestra tecnología de materiales avanzada, que garantiza una durabilidad, precisión y confiabilidad superiores en la fabricación de semiconductores.*
Leer másEnviar ConsultaLa placa portadora de grafito RTP de Semicorex es la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras, incluido el crecimiento epitaxial y el procesamiento de manipulación de obleas. Nuestro producto está diseñado para ofrecer resistencia al calor y uniformidad térmica superiores, asegurando que los susceptores de epitaxia estén sujetos al ambiente de deposición, con alta resistencia al calor y a la corrosión.
Leer másEnviar ConsultaEl portador de recubrimiento Semicorex RTP SiC ofrece resistencia al calor y uniformidad térmica superiores, lo que lo convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras. Con su grafito recubierto de SiC de alta calidad, este producto está diseñado para soportar el entorno de deposición más severo para el crecimiento epitaxial. La alta conductividad térmica y las excelentes propiedades de distribución del calor garantizan un rendimiento confiable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Leer másEnviar ConsultaEl portador de revestimiento de SiC Semicorex RTP/RTA está diseñado para soportar las condiciones más duras del entorno de deposición. Con su alta resistencia al calor y a la corrosión, este producto está diseñado para proporcionar un rendimiento óptimo para el crecimiento epitaxial. El soporte recubierto de SiC tiene una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor, lo que garantiza un rendimiento confiable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Leer másEnviar ConsultaLa placa portadora RTP de grafito SiC Semicorex para MOCVD ofrece una resistencia al calor y uniformidad térmica superiores, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras. Con un grafito recubierto de SiC de alta calidad, este producto está diseñado para resistir el entorno de deposición más severo para el crecimiento epitaxial. La alta conductividad térmica y las excelentes propiedades de distribución del calor garantizan un rendimiento confiable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Leer másEnviar ConsultaLa placa portadora RTP recubierta de SiC Semicorex para crecimiento epitaxial es la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras. Con sus susceptores de grafito de carbono de alta calidad y crisoles de cuarzo procesados por MOCVD en la superficie de grafito, cerámica, etc., este producto es ideal para el manejo de obleas y el procesamiento de crecimiento epitaxial. El soporte recubierto de SiC garantiza una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor, lo que lo convierte en una opción confiable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Leer másEnviar Consulta