Portador de recubrimiento RTP SiC

El portador de recubrimiento Semicorex RTP SiC ofrece resistencia al calor y uniformidad térmica superiores, lo que lo convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras. Con su grafito recubierto de SiC de alta calidad, este producto está diseñado para soportar el entorno de deposición más severo para el crecimiento epitaxial. La alta conductividad térmica y las excelentes propiedades de distribución del calor garantizan un rendimiento confiable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.

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Descripción del Producto

Nuestro portador de recubrimiento RTP SiC está diseñado para soportar las condiciones más duras del entorno de deposición. Con su alta resistencia al calor y a la corrosión, los susceptores de epitaxia están sujetos al entorno de deposición perfecto para el crecimiento epitaxial. El fino revestimiento de cristal de SiC en el soporte garantiza una superficie lisa y una alta durabilidad frente a la limpieza química, mientras que el material está diseñado para evitar grietas y delaminación.
En Semicorex, nos enfocamos en brindar un soporte de recubrimiento RTP SiC rentable y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.
Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestro portador de recubrimiento RTP SiC.

Parámetros del portador de recubrimiento RTP SiC

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300

Características del portador de recubrimiento RTP SiC

Grafito recubierto de SiC de alta pureza
Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
Alta durabilidad frente a limpieza química
El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.