Susceptor tipo panqueque, un portador de oblea de forma redonda utilizado en el procesamiento de semiconductores.
La epitaxia es un paso crucial en el procesamiento de semiconductores que hace crecer la capa epitaxial en las obleas semiconductoras, en las que las obleas se transportan sobre susceptores de grafito. Las cualidades de los susceptores de grafito son afecciones clave para la calidad de las epi-obleas.
Susceptores de grafito con revestimiento de carburo de silicio
Semicorex suministra susceptores y componentes para todos los reactores de epitaxia, incluidossusceptores de barrily susceptores de panqueques. Utilizamos grafito de alta pureza y recubrimiento CVD SiC.