China Anillos de entrada Fabricantes, Proveedores, Fábrica

Los anillos de entrada de gas se utilizan para cubrir el borde y el perímetro de la oblea, protegiendo los componentes críticos de la cámara para crear un ambiente limpio, inerte y protegido y extendiendo su vida útil en las cámaras de deposición, por lo que están expuestos al plasma y a altas temperaturas durante la deposición o el procesamiento de la oblea. , por lo que la fuerte durabilidad del plasma y la alta pureza son fundamentales para el rendimiento final de la oblea.

Anillos recubiertos de SiC CVD Semicorex diseñados específicamente para estas exigentes aplicaciones de equipos de epitaxia.

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