La placa central de grafito Semicorex o susceptor MOCVD es carburo de silicio de alta pureza recubierto mediante el método de deposición química de vapor (CVD), que se utiliza en el proceso para hacer crecer la capa epitaxial en el chip de la oblea. El susceptor recubierto de SiC es una parte esencial del MOCVD, por lo que exige una resistencia química y térmica superior, así como una alta uniformidad térmica. Hemos diseñado específicamente para estas exigentes aplicaciones de equipos de epitaxia.