El efector final es la mano del robot que mueve las obleas semiconductoras entre posiciones en el equipo de procesamiento de obleas y los soportes. El efector final debe ser dimensionalmente preciso y térmicamente estable, además de tener una superficie lisa y resistente a la abrasión para manipular de forma segura las obleas sin dañar los dispositivos ni producir contaminación por partículas.
Los componentes de recubrimiento de carburo de silicio (SiC) de alta pureza de Semicorex brindan una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y resistencia consistentes de la capa Epi y una resistencia química duradera.