China Componentes semiconductores Fabricantes, Proveedores, Fábrica

Como fabricante profesional, nos gustaría proporcionarle componentes semiconductores. Semicorex es su socio para mejorar el procesamiento de semiconductores. Nuestros recubrimientos de carburo de silicio son densos, resistentes a altas temperaturas y químicos, que a menudo se usan en todo el ciclo de fabricación de semiconductores, incluido el procesamiento de obleas y obleas de semiconductores y la fabricación de semiconductores.

Los componentes recubiertos de SiC de alta pureza son cruciales para los procesos en el semiconductor. Nuestra oferta abarca desde consumibles de grafito para zonas calientes de crecimiento de cristales (calentadores, susceptores de crisol, aislamiento) hasta componentes de grafito de alta precisión para equipos de procesamiento de obleas, como susceptores de grafito recubiertos de carburo de silicio para Epitaxia o MOCVD.

Ventajas para los procesos de semiconductores

Las fases de deposición de película delgada, como la epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manipulación de obleas, como el grabado o el implante de iones, deben soportar altas temperaturas y una limpieza química intensa. Semicorex suministra una construcción de grafito recubierto de carburo de silicio (SiC) de alta pureza que proporciona una resistencia superior al calor y una resistencia química duradera, incluso uniformidad térmica para una resistencia y un espesor de capa epidérmica consistentes.

Tapas de cámara â
Las tapas de las cámaras utilizadas en el crecimiento de cristales y el procesamiento de manipulación de obleas deben soportar altas temperaturas y una limpieza química intensa.

Efector final â
El efector final es la mano del robot que mueve las obleas de semiconductores entre posiciones en el equipo de procesamiento de obleas y los portadores.

Anillos de entrada â
Anillo de entrada de gas recubierto de SiC por equipo MOCVD El crecimiento del compuesto tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión, que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos.

Anillo de enfoque â
Semicorex suministra un anillo de enfoque recubierto de carburo de silicio que es realmente estable para RTA, RTP o limpieza química agresiva.

Mandril de obleas â
Los mandriles de obleas de vacío de cerámica ultraplano Semicorex están recubiertos con SiC de alta pureza y se utilizan en el proceso de manipulación de obleas.