Los tubos de proceso Semicorex SiC están fabricados con cerámica de SiC de alta pureza con revestimiento CVD SiC, y son adecuados para hornos horizontales en semiconductores. Teniendo en cuenta la calidad del producto y el servicio posventa, Semicorex es quien quiere hacer negocios de alta calidad con nuestros clientes de todo el mundo.*
del cuerpo es un material con impurezas ultrabajas (< 300 ppm), que proporciona una excelente pureza y estabilidad del material para atmósferas reactivas. Además, el tubo está recubierto con una capa de carburo de silicio CVD (< 5 ppm) para mejorar la resistencia a la corrosión y la protección de la superficie.
Los tubos de proceso de SiC están fabricados porCarburo de silicio sinterizado, puede ser SiSiC, SSiC o RSiC, y el recubrimiento CVD SiC en la superficie, que formará una capa de pureza ultra alta. Puede prevenir la contaminación por partículas, cenizas, etc. Y el material tiene una resistencia al choque térmico muy alta, por lo que los tubos de proceso de SiC pueden permanecer estables en resistencia a altas temperaturas y evitar que las impurezas se precipiten a altas temperaturas y, por lo tanto, contaminen el medio ambiente.
Estos tubos de proceso de SiC están diseñados para su uso en atmósferas con gas reactivo (oxígeno), gas de protección (nitrógeno) y cantidades mínimas de gas cloruro de hidrógeno, y ofrecen una excelente resistencia química, estabilidad térmica y pureza del material hasta 1250 °C. Los tubos de proceso Semicorex SiC combinan la fabricación de impresión 3D de última generación con un revestimiento de deposición química de vapor (CVD) para proporcionar un rendimiento y una vida útil superiores en las condiciones térmicas y químicas más extremas.
Los tubos de proceso Semicorex SiC se producen mediante un proceso de moldeo integrado con impresión 3D en lugar de un tubo convencional formado o ensamblado a presión. Este proceso de fabricación permite una estructura continua y consistente de cerámica sin juntas y áreas débiles, creando un alto grado de complejidad y fidelidad dimensional, que puede aliviar las concentraciones de tensión y al mismo tiempo mejorar la resistencia mecánica. Además, la estructura monolítica proporciona un sello hermético al gas natural, lo que reduce la contaminación y las fugas durante los procesos de alta temperatura.
ElSicdel cuerpo es un material con impurezas ultrabajas (< 300 ppm), que proporciona una excelente pureza y estabilidad del material para atmósferas reactivas. Además, el tubo está recubierto con una capa de carburo de silicio CVD (< 5 ppm) para mejorar la resistencia a la corrosión y la protección de la superficie.
Semicorex brinda un servicio personalizado, podemos producir de acuerdo con los dibujos de los clientes, para cumplir con los requisitos de especificaciones requeridos. Por lo tanto, los tubos de proceso Semicorex SiC pueden ser adecuados no sólo para hornos horizontales, sino también para hornos verticales.