Las tapas de las cámaras se utilizan para crear un ambiente limpio, inerte y protegido en las cámaras de deposición, por lo que están expuestas al plasma y a altas temperaturas durante los procesos de deposición o grabado. Las tapas de las cámaras Semicorex son componentes cerámicos duraderos recubiertos con carburo de silicio mediante el método de deposición química de vapor (CVD), ideales para resistir estos entornos desafiantes.
La tapa SEMCOREX SIC es un componente de carburo de silicio de alta pureza diseñado para entornos de procesamiento de semiconductores extremos. Elegir semicorex significa garantizar la calidad de material inigualable, la ingeniería de precisión y las soluciones personalizadas con confianza por los principales fabricantes de semiconductores en todo el mundo.*
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