Las tapas de las cámaras se utilizan para crear un ambiente limpio, inerte y protegido en las cámaras de deposición, por lo que están expuestas al plasma y a altas temperaturas durante los procesos de deposición o grabado. Las tapas de las cámaras Semicorex son componentes cerámicos duraderos recubiertos con carburo de silicio mediante el método de deposición química de vapor (CVD), ideales para resistir estos entornos desafiantes.