Como fabricante profesional, nos gustaría ofrecerle un calentador de oblea. Los calentadores para equipos de deposición exigen una distribución térmica uniforme en toda la oblea, junto con una alta pureza y resistencia al plasma. Semicorex suministra aplicaciones de calentamiento con recubrimiento de carburo de silicio CVD, incluidos calentadores y crisoles; nuestros componentes de calentamiento avanzados son adecuados para procesos ALD-CVD-PVD en entornos de deposición al vacío.
El recubrimiento CVD SiC del calentador de recubrimiento Semicorex SiC ofrece un rendimiento superior en la protección de los elementos calefactores de los ambientes hostiles, corrosivos y reactivos que a menudo se encuentran en procesos como la deposición química de vapor metal-orgánico (MOCVD) y el crecimiento epitaxial.**
Leer másEnviar ConsultaEl calentador MOCVD de Semicorex es un componente altamente avanzado y meticulosamente diseñado que ofrece una multitud de ventajas, que incluyen pureza química excepcional, eficiencia térmica, conductividad eléctrica, alta emisividad, resistencia a la corrosión, inoxidabilidad y resistencia mecánica.**
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