El anillo de enfoque o los anillos de borde están diseñados para mejorar la uniformidad del grabado alrededor del borde o perímetro de la oblea.
Los anillos de enfoque Semicorex están recubiertos de carburo de silicio con deposición de vapor químico (CVD) y brindan una resistencia al calor superior, incluso uniformidad térmica para un grosor y una resistencia de la capa epi uniformes, y una resistencia química duradera, que están diseñados para soportar los entornos extremos en el proceso de grabado con plasma o grabado en seco. .
Los anillos de enfoque duraderos de Semicorex para el procesamiento de semiconductores están diseñados para resistir los entornos extremos de las cámaras de grabado de plasma utilizadas en el procesamiento de semiconductores. Nuestros anillos de enfoque están hechos de grafito de alta pureza recubierto con un revestimiento de carburo de silicio (SiC) denso y resistente al desgaste. El revestimiento de SiC tiene altas propiedades de resistencia a la corrosión y al calor, así como una excelente conductividad térmica. Aplicamos SiC en capas finas sobre el grafito mediante el proceso de deposición química de vapor (CVD) para mejorar la vida útil de nuestros anillos de enfoque.
Leer másEnviar ConsultaEl anillo de enfoque de procesamiento de plasma Semicorex está especialmente diseñado para satisfacer las altas demandas del procesamiento de grabado por plasma en la industria de semiconductores. Nuestros componentes recubiertos de carburo de silicio avanzados y de alta pureza están fabricados para soportar entornos extremos y son adecuados para su uso en diversas aplicaciones, incluidas las capas de carburo de silicio y los semiconductores de epitaxia.
Leer másEnviar ConsultaLos anillos de enfoque de SiC avanzados y de alta pureza de Semicorex están diseñados para resistir los entornos extremos en las cámaras de grabado con plasma (o grabado en seco). Nos centramos en las industrias de semiconductores, como las capas de carburo de silicio y los semiconductores de epitaxia. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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