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China Recubrimiento TaC Fabricantes, Proveedores, Fábrica
El grafito de recubrimiento TaC se crea al recubrir la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición de vapor químico (CVD).
El carburo de tantalio (TaC) es un compuesto que consiste en tantalio y carbono. Tiene conductividad eléctrica metálica y un punto de fusión excepcionalmente alto, lo que lo convierte en un material cerámico refractario conocido por su resistencia, dureza y resistencia al calor y al desgaste. El punto de fusión de los carburos de tantalio alcanza un máximo de aproximadamente 3880 °C, según la pureza, y tiene uno de los puntos de fusión más altos entre los compuestos binarios. Esto lo convierte en una alternativa atractiva cuando las demandas de temperaturas más altas superan las capacidades de rendimiento utilizadas en procesos epitaxiales de semiconductores compuestos como MOCVD y LPE.
Datos materiales del recubrimiento Semicorex TaC
|
Proyectos |
Parámetros |
|
Densidad |
14,3 (g/cm³) |
|
emisividad |
0.3 |
|
CET (×10-6/K) |
6.3 |
|
Dureza (HK) |
2000 |
|
Resistencia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Estabilidad térmica |
<2500â |
|
Cambio de dimensión de grafito |
-10~-20um (valor de referencia) |
|
Espesor del recubrimiento |
â¥20um valor típico (35um±10um) |
|
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|
Los anteriores son valores típicos. |
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- View as
Mandril de recubrimiento TaC
Semicorex TaC Coating Chuck, el mandril de vacío de última generación equipado con recubrimientos TaC, diseñado específicamente para hornos semiconductores. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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