La cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex es una cerámica porosa de alto rendimiento diseñada específicamente en el proceso de transporte físico de vapor (PVT). Su estructura porosa especial y sus excelentes propiedades desempeñan un papel importante a la hora de facilitar el crecimiento de cristales de carburo de silicio de alta calidad. Al elegir Semicorex, obtendrá soluciones cerámicas porosas ideales con calidad constante y rendimiento estable para la fabricación avanzada de semiconductores.
La cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex es un material cerámico de temperatura ultraalta con un punto de fusión de alrededor de 3880 ℃, que puede mantener un rendimiento estable en entornos operativos desafiantes de alta temperatura y alta corrosión gracias a las siguientes excelentes características de rendimiento.
La temperatura máxima de trabajo de Semicorex poroso.cerámica de carburo de tantaliopuede alcanzar hasta 3200 ℃ y puede funcionar de manera estable en condiciones de crecimiento de cristales de carburo de silicio a alta temperatura durante mucho tiempo sin deformación ni ablandamiento.
La cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex exhibe una mejor resistencia a la corrosión y a la oxidación que las cerámicas convencionales. Puede resistir eficazmente la corrosión del oxígeno a alta temperatura y el vapor de Si en el proceso de crecimiento de cristales.
La cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex presenta poros internos distribuidos uniformemente, con una porosidad de entre el 10 % y el 60 % (personalizable) y una tasa de poros pasantes superior al 98 %. Esta estructura especial permite que elementos en fase de vapor como Si y C fluyan y se difundan suavemente dentro del horno de crecimiento de cristales, lo que facilita enormemente el crecimiento de cristales de alta calidad.
Durante el crecimiento de cristales de carburo de silicio a través del proceso PVT, la cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex funciona principalmente en la filtración de elementos en fase de vapor, la regulación del gradiente de temperatura del horno y la guía del flujo de material gaseoso. A diferencia de los materiales de grafito porosos recubiertos con TaC convencionales, la cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex muestra claras ventajas: elimina los poros.Grafito recubierto de TaCel inconveniente de los materiales de una baja tasa de poros causados por el tratamiento de recubrimiento, al mismo tiempo que se evita el punto doloroso de los materiales porosos de grafito recubiertos con TaC debido al desprendimiento del recubrimiento que se encuentra en servicio. Al utilizar cerámica porosa de carburo de tantalio Semicorex, puede inhibir eficazmente los defectos de inclusión de carbono en el crecimiento de cristales de carburo de silicio, mejorando así en gran medida la calidad del crecimiento de cristales y el rendimiento del producto.