El grafito poroso recubierto de Semicorex TaC es un material avanzado de alta pureza en el procesamiento de semiconductores. Este equipo crucial juega un papel fundamental en el proceso de crecimiento de SiC monocristalino. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
El uso inadecuado de materiales como el grafito, el grafito poroso y el polvo de modelo carbonizado puede provocar defectos como un aumento de las inclusiones de carbono en el campo térmico. En algunos casos, el grafito poroso puede no tener suficiente permeabilidad, por lo que es necesario crear agujeros adicionales para aumentarla. Sin embargo, el grafito poroso con alta permeabilidad al aire enfrenta desafíos de procesamiento, caída de polvo y grabado. Introducimos grafito poroso recubierto de TaC de alta pureza con gran porosidad, logrando una porosidad máxima del 75%, que es un récord internacional.
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