El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD).
El carburo de tantalio (TaC) es un compuesto que consta de tantalio y carbono. Tiene una conductividad eléctrica metálica y un punto de fusión excepcionalmente alto, lo que lo convierte en un material cerámico refractario conocido por su resistencia, dureza y resistencia al calor y al desgaste. El punto de fusión de los carburos de tantalio alcanza un máximo de aproximadamente 3880 °C, dependiendo de la pureza, y tiene uno de los puntos de fusión más altos entre los compuestos binarios. Esto lo convierte en una alternativa atractiva cuando las demandas de temperatura más altas exceden las capacidades de rendimiento utilizadas en procesos epitaxiales de semiconductores compuestos como MOCVD y LPE.
Datos del material del revestimiento Semicorex TaC
Proyectos |
Parámetros |
Densidad |
14,3 (g/cm³) |
Emisividad |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Dureza (HK) |
2000 |
Resistencia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Estabilidad térmica |
<2500℃ |
Cambio de dimensión de grafito |
-10~-20um (valor de referencia) |
Espesor del recubrimiento |
Valor típico ≥20um(35um±10um) |
|
|
Los anteriores son valores típicos. |
|
El susceptor Semicorex MOCVD con revestimiento TaC es un componente de vanguardia meticulosamente diseñado para un rendimiento óptimo en procesos de epitaxia de semiconductores dentro de sistemas MOCVD. Semicorex es inquebrantable en nuestro compromiso de ofrecer productos superiores a precios altamente competitivos. Estamos ansiosos por establecer una asociación duradera con usted en China.*
Leer másEnviar ConsultaEl anillo recubierto Semicorex CVD TaC reina como un componente crítico en el procesamiento de semiconductores y simboliza el cenit de la ingeniería de materiales moderna. Diseñado para su implementación en los entornos más rigurosos donde reinan la precisión y la confiabilidad, este anillo encarna la fusión de técnicas de recubrimiento de vanguardia con la ciencia de materiales resistentes. Semicorex ofrece firmemente productos de primer nivel a precios competitivos y esperamos ansiosamente forjar una asociación duradera con usted en China.*
Leer másEnviar ConsultaEl susceptor planetario recubierto de TaC Semicorex es un componente altamente especializado diseñado para su uso en los procesos epitaxiales de fabricación de semiconductores. Semicorex se dedica a ofrecer productos de alta calidad a precios competitivos. Estamos ansiosos por establecer una asociación a largo plazo con usted en China.*
Leer másEnviar ConsultaEl anillo guía de recubrimiento de carburo de tantalio Semicorex es un componente avanzado diseñado específicamente para la industria de semiconductores y desempeña un papel crucial en el crecimiento de los cristales de carburo de silicio (SiC). Este producto está diseñado para satisfacer las estrictas demandas de los entornos de alta temperatura y estrés inherentes a los procesos de crecimiento de cristales semiconductores. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China*.
Leer másEnviar ConsultaEl crisol de grafito con revestimiento de carburo de tantalio Semicorex es un componente especializado diseñado para su uso en la industria de semiconductores, particularmente en el crecimiento de cristales de carburo de silicio (SiC). Este crisol de alto rendimiento destaca por su composición material única y diseño estructural, lo que lo convierte en una herramienta indispensable en procesos avanzados de crecimiento de cristales. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China*.
Leer másEnviar ConsultaEl crisol de carburo de tantalio Semicorex es un componente crucial en la industria de los semiconductores, diseñado específicamente para el crecimiento de cristales de carburo de silicio (SiC). Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China*.
Leer másEnviar Consulta