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Tac recubrimiento de media luna
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Tac recubrimiento de media luna

El recubrimiento de semicorex TAC La parte de media luna es un componente de alto rendimiento diseñado para su uso en procesos de epitaxia SIC dentro de los hornos de epitaxia LPE. Elija semicorex para una calidad incomparable, ingeniería de precisión y un compromiso con el avance de la excelencia de fabricación de semiconductores.*

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Descripción del Producto

El recubrimiento de semicorex TAC La parte de media luna es un componente de ingeniería de precisión adaptada para procesos de epitaxia SIC en hornos de epitaxia LPE. Diseñado con un recubrimiento de carburo tantálico (TAC) de alta pureza, esta parte ofrece una estabilidad térmica y química excepcional, lo que garantiza un rendimiento óptimo en entornos de alta temperatura.


Las piezas de media luna semicorex TAC se elaboran para satisfacer las rigurosas demandas de la fabricación avanzada de semiconductores. El recubrimiento TAC proporciona una resistencia superior a la corrosión y la oxidación, extendiendo la vida útil del componente y manteniendo un rendimiento constante sobre los ciclos operativos prolongados. Su diseño de media luna mejora la uniformidad en el crecimiento de la capa epitaxial, mejorando la calidad del cristal y la confiabilidad del proceso.



La cerámica TAC tiene un punto de fusión de hasta 3880 ° C, alta dureza (dureza de Mohs 9-10), conductividad térmica grande (22W · M-1 · K-1), una gran resistencia a la flexión (340-400MPA) y un pequeño coeficiente de expansión térmica (6.6 × 10-6K-1). También exhiben una excelente estabilidad termoquímica y excelentes propiedades físicas, y tienen una buena compatibilidad química y mecánica con los compuestos de grafito y C/C. Por lo tanto, los recubrimientos TAC se usan ampliamente en la protección térmica aeroespacial, el crecimiento de un solo cristal, la electrónica de energía y los dispositivos médicos.


El grafito recubierto de TAC tiene una mejor resistencia a la corrosión química que el grafito desnudo o el grafito recubierto de SIC, se puede usar de manera estable a altas temperaturas de 2600 ° y no reacciona con muchos elementos metálicos. Es el mejor recubrimiento en el crecimiento de un solo cristal de semiconductores de tercera generación y escenarios de grabado de obleas, y puede mejorar significativamente el control de la temperatura e impurezas en el proceso, y preparar obleas de carburo de silicio de alta calidad y obleas epitaxiales relacionadas. Es especialmente adecuado para el cultivo de cristales individuales de GaN o ALN con equipos MOCVD y craneos simples de SIC con equipos PVT. La calidad de los cristales individuales cultivados mejora significativamente.


Este producto es una solución ideal para los fabricantes que priorizan la precisión, la eficiencia y la durabilidad en sus procesos de epitaxia. Trust Semicorex para soluciones de alto rendimiento diseñadas para satisfacer las necesidades evolutivas de la industria de semiconductores.




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