Alúmina brazo cerámico

El brazo de cerámica de alúmina semicorex es un componente de ingeniería que se desarrolla según las especificaciones más altas para las aplicaciones de semiconductores. Hecho de alúmina de alta pureza (al₂o₃), es un brazo robótico que presenta una combinación única de resistencia mecánica, estabilidad térmica y resistencia química. El brazo no solo está diseñado para usarse solo para el manejo de las obleas, sino que también necesita proporcionar soporte de procesos en sitios de fabricación avanzados. También debe garantizar que las obleas se transfieran, colocen y procesen sin contaminación ni daños; Mejora de los rendimientos y la confiabilidad del proceso.

Alúminaes una de las cerámicas técnicas que encuentra el mayor uso en el campo de cerámica técnica. La alúmina es conocida por su dureza, resistencia al desgaste y estabilidad en entornos agresivos. Para los objetivos del brazo de cerámica para manejar el manejo de la oblea sin introducir contaminación, puede explotar las propiedades de la alúmina y ofrecer un nivel mucho más alto de resistencia a la abrasión como consecuencia de su alta pureza y tamaño de partícula; Por lo tanto, no generará partículas excesivas durante sus movimientos repetidos, ya sea con obleas o con sustratos semiconductores de cualquier otro tipo.  La densidad y la baja porosidad que también alberga limitan aún más el potencial de las partículas que se rompen libremente, y asegura que cumpla con los requisitos ultra limpios de los fabricantes de desarrollo de semiconductores sin restar valor a la limpieza requerida para el manejo de dispositivos submicrónicos.

AlúminaPosee una estabilidad térmica excepcional además de su resistencia mecánica. El brazo cerámico de alúmina puede soportar temperaturas extremas de proceso sin deformar, agrietarse o perder fuerza. Esta propiedad lo hace ideal para la incorporación en cualquier paso de proceso que incluya la exposición a temperaturas elevadas, como la difusión, la oxidación o los pasos de recocido. Las obleas tendrán una mejor confiabilidad para la transferencia en un entorno de proceso desafiante, ya que conserva la integridad mecánica bajo el ciclo térmico.

La resistencia química es otro positivo fundamental del brazo cerámico de alúmina. En la fabricación de semiconductores, los tratamientos a menudo se realizan en obleas que incluyen ácidos fuertes, álcalis y otros productos químicos agresivos. Si bien los componentes metálicos pueden corroer o lixiviar impurezas, la alúmina es químicamente inerte, lo que protege la integridad del brazo y las obleas que maneja. Por lo tanto, la inercia prolonga la vida útil del componente al tiempo que reduce la posibilidad de contaminación durante los pasos de proceso críticos como la limpieza húmeda o la deposición de vapor químico.

El brazo de cerámica de alúmina está diseñado con un enfoque en la compatibilidad y la precisión. Cada brazo está hecho a tolerancias dimensionales estrictas, asegurando una alineación y movimiento de obleas precisos y compatibilidad con equipos automatizados de manejo de obleas y sistemas robóticos. El acabado superficial liso y pulido presenta una interfaz de baja fricción con la oblea que reduce la posibilidad de rayar la oblea, que es esencial para la integridad de la oblea/limpieza ambiental y la reducción de la tasa de defectos. Estas tolerancias de ingeniería aseguran que el ARM funcione libremente en un entorno de alto rendimiento de ritmo rápido y permita flujos de trabajo de semiconductores humanos y totalmente automatizados para el brazo.

El brazo cerámico de alúmina llega más allá del rendimiento químico y mecánico e impacta la eficiencia operativa y los ahorros de costos en múltiples niveles. La naturaleza comprobada de la cerámica permite que el brazo supere los materiales compuestos como los plásticos o el aluminio en términos de longevidad de diseño bajo carga mecánica repetitiva y, por lo tanto, reduce la cantidad de tiempo de inactividad operativo y/o costos de reemplazo involucrados. La capacidad de resistir entornos hostiles incluye una limpieza ambiental, al tiempo que produce menos interrupciones de fabricación que conducen a una producción de obleas constante mejorada, es decir, el rendimiento y, en última instancia, menos desguazos, lo que conduce a un ROI más alto (retorno de la inversión) para los fabricantes de semiconductores.

Las opciones para utilizar elAlúmina cerámicaEl brazo para los procesos de semiconductores es prácticamente interminable, desde obleas en movimiento entre bancos húmedos, hornos de difusión y cámaras de deposición hasta herramientas de inspección y metrología que utilizan sustratos. La versatilidad de este producto no solo permite que se use para aplicaciones de manejo de obleas, sino que también son factibles situaciones de automatización en las que se requiere precisión, limpieza y confiabilidad. La industria de los semiconductores se está moviendo inexorablemente hacia nodos más pequeños y una mayor complejidad dentro de la fabricación de dispositivos, y a medida que la industria continúa exigiendo mejores soluciones de manejo que sean confiables y no contaminantes, el brazo robótico de cerámica crea un camino claro hacia adelante.