La cerámica de carburo de silicio (SiC) es un material cerámico avanzado que contiene silicio y carbono. Los granos de carburo de silicio se pueden unir mediante sinterización para formar cerámicas muy duras. Semicorex suministra cerámicas de carburo de silicio personalizadas según sus necesidades.
Aplicaciones
En las cerámicas de carburo de silicio, las propiedades del material se mantienen constantes hasta temperaturas superiores a 1.400 °C. El alto módulo de Young > 400 GPa garantiza una excelente estabilidad dimensional.
A typical application for silicon carbide components is dynamic sealing technology using friction bearings and mechanical seals, for instance in pumps and drive systems.
Con propiedades avanzadas, las cerámicas de carburo de silicio también son ideales para su uso en la industria de semiconductores.
Barcos de oblea
Semicorex Wafer Boat está hecho de cerámica de carburo de silicio sinterizado, que tiene buena resistencia a la corrosión y excelente resistencia a las altas temperaturas y al choque térmico. Las cerámicas avanzadas ofrecen una excelente resistencia térmica y durabilidad del plasma al mismo tiempo que mitigan las partículas y los contaminantes para los portadores de obleas de alta capacidad.
Carburo de silicio sinterizado de reacción
En comparación con otros procesos de sinterización, el cambio de tamaño de la sinterización reactiva durante el proceso de densificación es pequeño y se pueden producir productos con dimensiones precisas. Sin embargo, la presencia de una gran cantidad de SiC en el cuerpo sinterizado empeora el rendimiento a altas temperaturas de las cerámicas de SiC sinterizadas por reacción.
Carburo de silicio sinterizado sin presión
El carburo de silicio sinterizado (SSiC) sin presión es una cerámica de alto rendimiento especialmente ligera y al mismo tiempo dura. El SSiC se caracteriza por su alta resistencia, que se mantiene casi constante incluso a temperaturas extremas.
Carburo de silicio recristalino
El carburo de silicio recristalizado (RSiC) son materiales de próxima generación que se forman mezclando polvo grueso de carburo de silicio de alta pureza y polvo fino de carburo de silicio de alta actividad y, después de la lechada, sinterización al vacío a 2450 ° C para recristalizar.
|
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Carburo de silicio sinterizado de reacción |
Carburo de silicio sinterizado sin presión |
Carburo de silicio recristalizado |
Propiedades tipicas |
Unidades |
Valores |
|
|
Densidad a Granel |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Fuerza flexible |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Fuerza compresiva |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureza |
Botón |
2700 |
2800 |
/ |
Rompiendo la tenacidad |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductividad térmica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficiente de expansión termal |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calor especifico |
Julios/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura máxima en el aire |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulos elasticos |
gpa |
360 |
410 |
240 |
Fuerza flexible |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex proporciona botes de obleas, pedestales y portadores de obleas personalizados para configuraciones verticales/de columna y horizontales. Hemos sido fabricantes y proveedores de película de revestimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro proceso de barco de obleas para semiconductores tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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