El grafito es un alótropo del carbono con una estructura de capas cristalinas hexagonales. Cuenta con una excelente conductividad eléctrica, conductividad térmica, lubricidad, resistencia a altas temperaturas, resistencia al choque térmico y estabilidad química, y se le conoce como el "oro negro". Por estas razones, se utiliza ampliamente en metalurgia, maquinaria, ingeniería química, fotovoltaica, semiconductores, industria nuclear, defensa nacional y aeroespacial, y se ha convertido en un material no metálico indispensable para el desarrollo de altas y nuevas tecnologías en la actualidad.
Los diferentes escenarios de aplicación tienen diferentes requisitos de rendimiento para los productos de grafito, lo que hace que la selección precisa del material sea un paso fundamental en la aplicación de productos de grafito. La elección de componentes de grafito con un rendimiento que coincida con los escenarios de aplicación no solo puede extender de manera efectiva su vida útil y reducir la frecuencia y los costos de reemplazo, sino que también puede ayudar a mejorar la calidad de producción y el rendimiento de los productos finales.
La pureza del material de grafito determina directamente la durabilidad de los componentes. Las impurezas (como Fe, Si, Al) en los componentes de grafito formarán compuestos de bajo punto de fusión en un ambiente de vacío de alta temperatura, que erosionan lentamente los componentes de grafito y provocan grietas y daños. Para la aplicación de hornos de vacío de alta precisión en el campo de los semiconductores, los componentes centrales como calentadores de grafito, crisoles de grafito, cilindros de aislamiento de grafito y soportes de grafito deben estar hechos de grafito de alta pureza con una pureza de 5 N y superior, y el contenido de cenizas del material debe controlarse estrictamente por debajo de 10 ppm.
La densidad y la estructura a menudo se pasan por alto en la selección del material de grafito; sin embargo, estos dos indicadores son los factores centrales que determinan el choque térmico y la resistencia a la fluencia de los componentes de grafito. Cuanto mayor es la densidad del material de grafito, menor es la porosidad de los componentes, mayor es su resistencia a la penetración de gas y al choque térmico, y es menos probable que se agrieten durante el uso. Tomemos como ejemplo el grafito prensado isostáticamente: este tipo de grafito tiene un error isotrópico de menos del 1% y características de expansión térmica uniforme. Su resistencia al choque térmico es más de un 30% mayor que la del grafito moldeado ordinario y su resistencia a la fluencia es de 3 a 5 veces mayor que la del grafito extruido, lo que lo convierte en un material ideal para hornos de vacío sujetos a ciclos térmicos frecuentes.
No es necesario buscar ciegamente materiales de alta gama para la selección de componentes de grafito. La selección precisa del material basada en la temperatura máxima de funcionamiento del horno de vacío no solo puede controlar los costos sino también garantizar la durabilidad de los componentes, logrando el máximo rendimiento de costos.
La temperatura de funcionamiento es inferior a 1600 ℃:Se puede utilizar grafito común de alta pureza para cumplir con los requisitos básicos de la aplicación.
La temperatura de funcionamiento de 1600 ℃ a 2000 ℃:Grano fino de alta purezagrafito isostáticoes la elección adecuada, que equilibra la durabilidad y la rentabilidad.
La temperatura de funcionamiento supera los 2000 ℃:Se deben seleccionar grafito isostático, grafito pirolítico o compuestos C/C para garantizar un rendimiento constante en condiciones operativas duras de alta temperatura.
Aplicar un tratamiento superficial adecuado a los componentes de grafito equivale a agregarles un "escudo protector", que puede resistir eficazmente la oxidación y la erosión media y extender en gran medida su vida útil. Los siguientes son varios métodos comunes de tratamiento de superficies para componentes de grafito:
Un uniforme y densoRecubrimiento CVD SiCPuede aumentar significativamente la temperatura de resistencia a la oxidación de los componentes de grafito y es adecuado para la mayoría de los componentes de grafito de hornos de vacío, comocalentadores, crisolesy cilindros de aislamiento. Este recubrimiento puede resistir eficazmente la erosión de gases químicos como oxígeno, cloro y vapor de silicio en el entorno operativo.
En comparación con el recubrimiento CVD SiC,recubrimiento de carburo de tantaliotiene mejor resistencia a la corrosión y a altas temperaturas, y puede soportar temperaturas ultraaltas y entornos de corrosión química extrema, como los duros escenarios de aplicación de los hornos de crecimiento de cristales de carburo de silicio.
Se recomienda el tratamiento de infiltración de silicio para algunos componentes de grafito que soportan carga y compuestos C/C. Después del tratamiento, la dureza, la resistencia al desgaste y la resistencia a la fluencia de los componentes mejorarán enormemente. También se puede adoptar la impregnación de resina o el tratamiento con carbón pirolítico para rellenar los poros de la superficie de los componentes de grafito, reducir la desgasificación y mejorar la estanqueidad al aire.