Calentador de proceso de oblea

Semicorex es un fabricante y proveedor a gran escala de susceptor de grafito recubierto de carburo de silicio en China. Nos centramos en industrias de semiconductores como las capas de carburo de silicio y los semiconductores epitaxia. Nuestro calentador de proceso de obleas tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo.

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Descripción del Producto

El calentador de proceso de oblea Semicorex está fabricado con grafito con revestimiento de carburo de silicio (SiC), el revestimiento se aplica mediante un método CVD a grados específicos de grafito de alta densidad, por lo que puede funcionar en el horno de alta temperatura con más de 3000 °C en una atmósfera inerte. 2200°C al vacío.
Las propiedades especiales y la baja masa del material del calentador de proceso de oblea permiten velocidades de calentamiento rápidas, distribución uniforme de la temperatura y una precisión excepcional en el control. En comparación con otros materiales, la superficie del carburo de silicio se mantiene plana debido a su baja expansión térmica incluso cuando se opera con cambios rápidos de temperatura. Las placas calefactoras son muy adecuadas para procesos exigentes en sistemas de procesamiento de semiconductores.
En Semicorex, nos enfocamos en brindar productos rentables y de alta calidad a nuestros clientes. Nuestro calentador de proceso de obleas tiene una ventaja de precio y se exporta a muchos mercados europeos y americanos. Nuestro objetivo es ser su socio a largo plazo, brindando productos de calidad constante y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros del calentador de proceso de obleas

Especificación técnica	FP-M3
Densidad aparente (g/cm3)	≥1,85
Contenido de cenizas (PPM)	≤500
Dureza Shore	≥45
Resistencia específica (μ.Ω.m)	≤12
Resistencia a la flexión (Mpa)	≥40
Resistencia a la compresión (Mpa)	≥70
Máx. Tamaño de grano (μm)	≤43
Coeficiente de Expansión Térmica Mm/°C	≤4,4*10-6

Características del calentador de proceso de obleas

- Recubrimientos CVD SiC para mejorar la vida útil.
- La resistencia a altas temperaturas, la resistencia a la corrosión y la larga vida útil pueden mejorar la calidad y el rendimiento de las obleas.
- Tiene un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo, resistencia a altas temperaturas, alta resistencia al desgaste, buen aislamiento, buena estabilidad química y penetración de luz visible casi violeta (roja).

Podemos proporcionar crisol de grafito antioxidante y de larga duración, molde de grafito y todas las partes del calentador de grafito.