Efector final de cerámica

Semicorex es su socio para componentes y ensamblajes de grafito avanzados para respaldar un mayor rendimiento y mejores rendimientos en su equipo de procesamiento de semiconductores. Nuestros expertos en materiales están listos para trabajar con usted para desarrollar la solución óptima adecuada para sus requisitos de manejo, calentamiento y procesamiento de obleas. Nuestro efector final de cerámica tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Ceramic End Effector es la mano del robot que mueve obleas de semiconductores entre posiciones en equipos de procesamiento de obleas y portadores. El efector final debe ser dimensionalmente preciso y térmicamente estable, además de tener una superficie lisa y resistente a la abrasión para manipular obleas de forma segura sin dañar los dispositivos ni producir contaminación por partículas. Nuestro efector de extremo cerámico de carburo de silicio de alta pureza proporciona una resistencia al calor superior, incluso uniformidad térmica para un espesor y una resistencia constantes de la capa epi, y una resistencia química duradera.

En Semicorex, nos enfocamos en proporcionar efectores finales de cerámica rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciendo productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros del efector final de cerámica

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase Î² de la FCC
Densidad	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	Î¼m	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curva de 4 puntos, 1300â)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300