Efector final cerámico

Semicorex es su socio en componentes y conjuntos de grafito avanzados para respaldar un mayor rendimiento y mejores rendimientos en sus equipos de procesamiento de semiconductores. Nuestros expertos en materiales están listos para trabajar con usted para desarrollar la solución óptima y adecuada para sus requisitos de manipulación, calentamiento y procesamiento de obleas. Nuestro efector final cerámico tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Ceramic End Effector es la mano del robot que mueve las obleas semiconductoras entre posiciones en los equipos de procesamiento de obleas y los soportes. El efector final debe ser dimensionalmente preciso y térmicamente estable, además de tener una superficie lisa y resistente a la abrasión para manipular de forma segura las obleas sin dañar los dispositivos ni producir contaminación por partículas. Nuestro efector final cerámico de carburo de silicio de alta pureza proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y una resistencia constantes de la capa de epi, y una resistencia química duradera.

En Semicorex, nos enfocamos en brindar efectores finales cerámicos rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros del efector final cerámico

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300