Calentador de oblea recubierto de SiC

Semicorex es un fabricante líder independiente de grafito recubierto de carburo de silicio, grafito de alta pureza mecanizado con precisión que se centra en las áreas de fabricación de semiconductores de grafito recubierto de carburo de silicio, cerámica de carburo de silicio y MOCVP. Nuestro calentador de oblea recubierto de SiC tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

El calentador de oblea recubierto de SiC Semicorex puede funcionar en un horno de alta temperatura con más de 3000 °C en una atmósfera inerte y 2200 °C en vacío. El calentador de oblea recubierto de SiC de alta pureza proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y resistencia constantes de la capa de epi, y una resistencia química duradera. El fino recubrimiento de cristal de SiC proporciona una superficie limpia y lisa, fundamental para la manipulación, ya que las obleas prístinas entran en contacto con el susceptor en muchos puntos de toda su área.
En Semicorex, nos enfocamos en brindar calentadores de oblea recubiertos de SiC rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros del calentador de oblea recubierto de SiC

Especificación técnica	FP-M3
Densidad aparente (g/cm3)	≥1,85
Contenido de cenizas (PPM)	≤500
Dureza Shore	≥45
Resistencia específica (μ.Ω.m)	≤12
Resistencia a la flexión (Mpa)	≥40
Resistencia a la compresión (Mpa)	≥70
Máx. Tamaño de grano (μm)	≤43
Coeficiente de Expansión Térmica Mm/°C	≤4,4*10-6

Características del calentador de oblea recubierto de SiC

- Grafito recubierto de SiC de alta pureza
- Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
- Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
- Alta durabilidad frente a limpieza química
- El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.