Bandeja portadora de obleas

Semicorex proporciona cerámica de calidad semiconductora para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manipulación de obleas centrándose en capas de carburo de silicio en industrias de semiconductores. Hemos sido fabricantes y proveedores de bandejas transportadoras de obleas durante muchos años. Nuestra bandeja portadora de obleas tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

No solo para las fases de deposición de películas delgadas como epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manipulación de obleas, Semicorex suministra un soporte cerámico ultrapuro que se utiliza para soportar las obleas. En el centro del proceso, la bandeja portadora de obleas para el MOCVD se somete primero al entorno de deposición, por lo que tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión. El soporte recubierto de SiC también tiene una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestra bandeja portadora de obleas.

Parámetros de la bandeja portadora de obleas

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistencia a la flexión	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botón	2700	2800	/
Rompiendo la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansión térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Julios/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Módulo elástico	gpa	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. El RBSiC sirve para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, el SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. El SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia; para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, el SSiC será mejor.

3. Tiempo de uso diferente bajo diferente PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características de la bandeja portadora de obleas

- Recubrimientos CVD de Carburo de Silicio para mejorar la vida útil.
- Aislamiento térmico fabricado en carbono rígido purificado de altas prestaciones.
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
- Recubrimiento de SiC y grafito de alta pureza para resistencia a perforaciones y mayor vida útil

Formas disponibles de cerámicas de carburo de silicio:

● Varilla de cerámica/pasador de cerámica/émbolo de cerámica

● Tubo cerámico/casquillo cerámico/manguito cerámico

● Anillo cerámico/arandela cerámica/espaciador cerámico

● Disco cerámico

● Placa cerámica/bloque cerámico

● bola de cerámica

● Pistón cerámico

● Boquilla de cerámica

● Crisol de cerámica

● Otras piezas cerámicas personalizadas