Bandeja portadora de obleas

Semicorex proporciona cerámica de grado semiconductor para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manejo de obleas que se centran en las capas de carburo de silicio en las industrias de semiconductores. Hemos sido fabricantes y proveedores de bandejas portadoras de obleas durante muchos años. Nuestra bandeja portadora de obleas tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

No solo para las fases de deposición de películas delgadas como la epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manejo de obleas, Semicorex suministra un soporte cerámico ultrapuro que se utiliza para soportar las obleas. En el núcleo del proceso, la bandeja transportadora de obleas para MOCVD se somete primero al entorno de deposición, por lo que tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión. El portador revestido de SiC también tiene una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestra bandeja transportadora de obleas.

Parámetros de la bandeja portadora de obleas

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad a Granel	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Fuerza flexible	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	nudo	2700	2800	/
Romper la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/mk	95	120	23
Coeficiente de expansión termal	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calor especifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Modulos elasticos	promedio general	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. RBSiC es para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia, para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, SSiC será mejor.

3. Diferente tiempo de uso bajo diferentes PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características de la bandeja portadora de obleas

- Recubrimientos de carburo de silicio CVD para mejorar la vida útil.
- Aislamiento térmico fabricado en carbono rígido purificado de altas prestaciones.
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
- Recubrimiento de grafito y SiC de alta pureza para una mayor resistencia a los orificios y una mayor vida útil

Formas disponibles de cerámica de carburo de silicioï¼

â Varilla de cerÃ¡mica / clavija de cerÃ¡mica / Ã©mbolo de cerÃ¡mica

â Tubo de cerÃ¡mica / buje de cerÃ¡mica / manguito de cerÃ¡mica

â Anillo de cerÃ¡mica / arandela de cerÃ¡mica / espaciador de cerÃ¡mica

â disco cerámico

â Placa de cerÃ¡mica / bloque de cerÃ¡mica

â Bola de ceramica

â Pistón cerámico

â Boquilla de ceramica

â Crisol de cerÃ¡mica

â Otras piezas de cerÃ¡mica personalizadas