Barcos de obleas

Los barcos de obleas semicorex fabricadas a partir de carburo de silicio de alta pureza (SIC) son componentes esenciales en la fabricación de semiconductores. Los procesos semiconductores en los que se usan típicamente incluyen entornos de alta temperatura y corrosivos como la difusión, la oxidación y los procesos LPCVD. La aplicación de barcos de obleas SIC se ha diseñado para maximizar la estabilidad térmica y la resistencia química, lo que permite un soporte óptimo, alineación y transporte de obleas de silicio durante el procesamiento para rendimientos óptimos y rendimiento del dispositivo.

El carburo de silicio está bien documentado como una excelente cerámica térmicamente conductora, que exhibe alta resistencia mecánica y resistencia a los choques térmicos superiores, resistencia a la oxidación y resistencia química agresiva con productos químicos como HF y HCL. Las propiedades de SIC lo hacen especialmente atractivo como material para barcos de obleas para procesos de fabricación de semiconductores de próxima generación y en entornos de alta temperatura. Los barcos de obleas SIC pueden mantener la integridad estructural y la estabilidad dimensional a temperaturas de proceso de> 1500 ° C, minimizando el riesgo de deformación o contaminación de obleas en tratamientos térmicos críticos.

Cada sicbote de obleasSe fabrica a partir de SIC de alta pureza utilizando procesos avanzados de formación de cerámica y sinterización, y se puede adaptar para una amplia gama de diámetros de obleas (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), así como configuraciones de apilamiento, ya sea vertical u horizontal. Nuestros barcos de obleas SIC tienen superficies lisas y excelente planitud que minimiza la generación de partículas y son ideales para sistemas automatizados de manejo de obleas.

El control y el rendimiento de la contaminación son dos de los problemas más críticos en los fabricantes modernos. La limpieza y la confiabilidad de los portadores de Sic Wafer influyen en el rendimiento del proceso de calidad y consistencia del producto.  Los barcos SIC Wafer tienen una longevidad mucho mejor para el uso, tienen menos requisitos de mantenimiento y TCO más bajos que las alternativas basadas en cuarzo o alúmina. Una mejor longevidad también significa menos problemas con el desprendimiento de micropartículas, por lo tanto, nuevamente, afectando la limpieza de la superficie de la oblea e impactando la limpieza de la sala limpia.

Semicorex se centra en diseñar y fabricar barcos SIC Wafer que usen las materias primas de mayor pureza posibles combinadas con sinterización de baja atmósfera de contaminación.  Hacemos todo lo posible para mantener bajos niveles de impureza, para mantener la porosidad a bajo valor y una microestructura uniforme para que el trabajo del equipo pueda disfrutar regularmente de características térmicas consistentes, espaciado preciso de obleas y resistencia a la degradación química inigualable.

Semicorex sicbarcos de obleasson un elemento necesario de procesamiento de alta temperatura de semiconductores. Los barcos de obleas de silicio de alta pureza tienen características de material incomparables, excelencia diseñada y temperamento sin microcontaminación, los convierten en la opción de alto nivel para la fabricación de obleas de alto rendimiento. Semicorex proporciona la fiabilidad y el alto rendimiento innovador para apoyar sus procesos de semiconductores más críticos de misión.