Portador de barcos de oblea

Semicorex Wafer Boat Carrier está hecho de grafito, conocido por su excepcional relación resistencia-peso y conductividad térmica. Sin embargo, para mejorar su durabilidad, cada recipiente se somete a un proceso de recubrimiento CVD SiC. Este revestimiento no solo fortalece la embarcación frente a entornos de procesamiento hostiles, sino que también la protege de la corrosión química y los choques térmicos, garantizando longevidad y confiabilidad incluso en las condiciones más exigentes.

El Wafer Boat Carrier está diseñado con meticulosa atención al detalle. Su estructura está optimizada para lograr la máxima eficiencia y seguridad, con dimensiones precisas y geometrías cuidadosamente diseñadas que garantizan la colocación segura y estable de delicadas obleas semiconductoras durante el procesamiento. Esto minimiza el riesgo de daños o contaminación.

El Wafer Boat Carrier es una solución versátil adaptable a una gran variedad de aplicaciones. Puede utilizarse en crecimiento epitaxial, deposición química de vapor y otros procesos de fabricación de semiconductores. Su construcción robusta y su inercia química lo hacen compatible con una amplia gama de procesos químicos, lo que garantiza una integración perfecta en diversos entornos de procesamiento.