Portador de oblea de silicio

Semicorex proporciona cerámica de calidad semiconductora para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manipulación de obleas centrándose en capas de carburo de silicio en industrias de semiconductores. Hemos sido fabricantes y proveedores de Silicon Wafer Carrier durante muchos años. Nuestro Silicon Wafer Carrier tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Los procesos de deposición de semiconductores utilizan una combinación de gases precursores volátiles, plasma y alta temperatura para formar capas de películas delgadas de alta calidad sobre obleas. Las cámaras de deposición y las herramientas de manipulación de obleas necesitan componentes cerámicos duraderos para resistir estos entornos desafiantes.
Semicorex Silicon Wafer Carrier es carburo de silicio de alta pureza, que tiene altas propiedades de resistencia a la corrosión y al calor, así como una excelente conductividad térmica.

Parámetros del portador de obleas de silicio

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistencia a la flexión	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botón	2700	2800	/
Rompiendo la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansión térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Julios/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Módulo elástico	gpa	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. El RBSiC sirve para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, el SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. El SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia; para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, el SSiC será mejor.

3. Tiempo de uso diferente bajo diferente PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características del portador de obleas de silicio

Grafito recubierto de SiC de alta pureza
Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
Alta durabilidad frente a limpieza química
El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.

Formas disponibles de cerámicas de carburo de silicio:

● Varilla de cerámica/pasador de cerámica/émbolo de cerámica

● Tubo cerámico/casquillo cerámico/manguito cerámico

● Anillo cerámico/arandela cerámica/espaciador cerámico

● Disco cerámico

● Placa cerámica/bloque cerámico

● bola de cerámica

● Pistón cerámico

● Boquilla de cerámica

● Crisol de cerámica

● Otras piezas cerámicas personalizadas