Barco de oblea de carburo de silicio

Semicorex diseña cerámicas de grado semiconductor para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manejo de obleas. Nuestro barco de obleas de carburo de silicio tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

El bote de obleas de carburo de silicio de Semicorex, que presenta una pureza extremadamente alta (hasta 99,99 %), excelente resistencia al plasma y al calor, y una aparición restringida de partículas, se utiliza en piezas de equipos de procesamiento de semiconductores, incluidos componentes estructurales y herramientas.
En Semicorex, nos enfocamos en proporcionar botes de obleas de carburo de silicio rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciendo productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.
Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestro barco de obleas de carburo de silicio.

Parámetros del barco oblea de carburo de silicio

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad a Granel	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Fuerza flexible	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	nudo	2700	2800	/
Romper la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/mk	95	120	23
Coeficiente de expansión termal	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calor especifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Modulos elasticos	promedio general	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. RBSiC es para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia, para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, SSiC será mejor.

3. Diferente tiempo de uso bajo diferentes PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características del barco de obleas de carburo de silicio

Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
Revestimiento de cristal SiC fino para una superficie lisa
Alta durabilidad frente a la limpieza química.
El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.