Susceptor de barril recubierto de SiC de carburo de silicio

Semicorex es un fabricante líder independiente de susceptores de barril recubiertos de SiC de carburo de silicio, grafito de alta pureza mecanizado con precisión que se centra en las áreas de fabricación de semiconductores de grafito recubierto de carburo de silicio, cerámica de carburo de silicio y MOCVP. Nuestro susceptor de barril recubierto de SiC de carburo de silicio tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

semicorexSusceptor de barril recubierto de SiC de carburo de silicioes un producto de grafito recubierto con SiC altamente purificado, que tiene alta resistencia al calor y a la corrosión. Es adecuado para LPE. ElCarburo de SilicioSusceptor de barril recubierto de SiC utilizado en procesos que forman la capa epixial en obleas semiconductoras, que tiene una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.

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Parámetros deRecubrimiento de carburo de silicio SiCReceptor de barril

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300

Características deRecubrimiento de carburo de silicio SiCReceptor de barril

- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen buena densidad y pueden desempeñar un buen papel protector en entornos de trabajo corrosivos y de alta temperatura.

- El susceptor recubierto de carburo de silicio utilizado para el crecimiento de monocristales tiene una superficie muy plana.

- Reducir la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el sustrato de grafito y la capa de carburo de silicio, mejorar efectivamente la fuerza de unión para evitar grietas y delaminación.

- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.

- Alto punto de fusión, resistencia a la oxidación a altas temperaturas, resistencia a la corrosión.

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