Receptor de barril EPI 3 1/4"

El revestimiento de SiC Semicorex EPI 3 1/4" Barrel Susceptor proporciona una excelente estabilidad térmica y resistencia al ataque químico, mientras que el sustrato de grafito ofrece propiedades superiores de transferencia de calor.

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Descripción del Producto

El susceptor de barril Semicorex EPI de 3 1/4" es un producto de grafito de alta calidad recubierto con SiC de alta pureza, que ofrece una excepcional resistencia al calor y a la corrosión. Está diseñado específicamente para aplicaciones LPE en la industria de fabricación de semiconductores.

Nuestros susceptores de barril EPI de 3 1/4" están diseñados para su uso en una variedad de industrias, incluidas la aeroespacial, automotriz y electrónica. Estamos comprometidos a brindar productos de alta calidad a un precio competitivo y nos dedicamos a construir productos a largo plazo. relaciones con nuestros clientes. Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestros.recubierto de SiCCrisoles de grafito y cómo pueden beneficiar a su negocio.

Parámetros del Susceptor de Barril EPI 3 1/4"

Especificaciones principales deCVD-SICRevestimiento
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300