Susceptor de barril recubierto de carburo de silicio

El susceptor de barril recubierto de carburo de silicio Semicorex es un producto de grafito de alta calidad recubierto con SiC de alta pureza, que ofrece una resistencia excepcional al calor y la corrosión. Está diseñado específicamente para aplicaciones LPE en la industria de fabricación de semiconductores.

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Descripción del Producto

NuestroSusceptor de barril recubierto de carburo de siliciode Semicorex es una solución ideal para cultivar monocristales en ambientes corrosivos y de alta temperatura.

En Semicorex, nos enfocamos en brindar alta calidad y rentabilidad.recubierto de carburo de silicioSusceptor de barril, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros deRecubierto de carburo de silicioReceptor de barril

Especificaciones principales deRecubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300

Características deRecubierto de carburo de silicioReceptor de barril

- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen buena densidad y pueden desempeñar un buen papel protector en entornos de trabajo corrosivos y de alta temperatura.

- El susceptor recubierto de carburo de silicio utilizado para el crecimiento de monocristales tiene una superficie muy plana.

- Reducir la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el sustrato de grafito y la capa de carburo de silicio, mejorar efectivamente la fuerza de unión para evitar grietas y delaminación.

- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.

- Alto punto de fusión, resistencia a la oxidación a altas temperaturas, resistencia a la corrosión.

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