Semicorex es un fabricante y proveedor a gran escala de susceptores de barril recubiertos de SiC en China. Nos centramos en industrias de semiconductores como las capas de carburo de silicio y los semiconductores epitaxia. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo.
SemicorexSusceptor de barril recubierto de SiCes un portador de grafito recubierto de SiC de alta pureza, que se utiliza en el proceso para hacer crecer la capa epitaxial en el chip de oblea, que es adecuado para muchos reactores epitaxiales. Tiene alta resistencia al calor y a la corrosión, lo que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos.
NuestroRecubierto de SiCBarrel Susceptor también es resistente a la oxidación y corrosión a altas temperaturas, lo que lo convierte en un producto confiable y duradero. Su alto punto de fusión garantiza que pueda soportar el entorno de alta temperatura necesario para la fabricación eficiente de semiconductores.
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Parámetros deRecubierto de SiCReceptor de barril
Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC |
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Propiedades de SiC-CVD |
||
Estructura cristalina |
Fase β de la FCC |
|
Densidad |
gramos/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamaño de grano |
µm |
2~10 |
Pureza química |
% |
99.99995 |
Capacidad calorífica |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimación |
℃ |
2700 |
Fuerza flexural |
MPa (RT 4 puntos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) |
430 |
Expansión Térmica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductividad térmica |
(W/mK) |
300 |
Características deRecubierto de SiCReceptor de barril
- Evite que se despegue y garantice el recubrimiento en toda la superficie.
Resistencia a la oxidación a altas temperaturas: estable a altas temperaturas de hasta 1600 °C
Alta pureza: elaborado mediante deposición química de vapor CVD en condiciones de cloración a alta temperatura.
Resistencia a la corrosión: alta dureza, superficie densa y partículas finas.
Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sal y reactivos orgánicos.
- Lograr el mejor patrón de flujo de gas laminar
- Garantizar la uniformidad del perfil térmico.
- Prevenir cualquier contaminación o difusión de impurezas.