El susceptor de barril de reactor recubierto de carburo Semicorex es un producto de grafito de primera calidad recubierto con SiC de alta pureza, diseñado específicamente para procesos LPE. Con excelente resistencia al calor y a la corrosión, este producto es perfecto para usar en aplicaciones de fabricación de semiconductores.
Si está buscando un susceptor de grafito de alto rendimiento para la formación de capas epitaxiales en obleas semiconductoras, el susceptor de barril de reactor recubierto de carburo Semicorex es una excelente opción. Su revestimiento de carburo de silicio proporciona una distribución del calor y una conductividad térmica superiores, lo que garantiza un rendimiento excepcional incluso en los entornos de alta temperatura más exigentes.
En Semicorex, nos enfocamos en brindar susceptores de barril de reactor recubiertos de carburo rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.
Parámetros del susceptor de barril de reactor recubierto de carburo
Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC |
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Propiedades de SiC-CVD |
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Estructura cristalina |
Fase β de la FCC |
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Densidad |
gramos/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamaño de grano |
µm |
2~10 |
Pureza química |
% |
99.99995 |
Capacidad calorífica |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimación |
℃ |
2700 |
Fuerza flexural |
MPa (RT 4 puntos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) |
430 |
Expansión Térmica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductividad térmica |
(W/mK) |
300 |
Características del susceptor de barril de reactor recubierto de carburo
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen buena densidad y pueden desempeñar un buen papel protector en entornos de trabajo corrosivos y de alta temperatura.
- El susceptor recubierto de carburo de silicio utilizado para el crecimiento de monocristales tiene una superficie muy plana.
- Reducir la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el sustrato de grafito y la capa de carburo de silicio, mejorar efectivamente la fuerza de unión para evitar grietas y delaminación.
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
- Alto punto de fusión, resistencia a la oxidación a altas temperaturas, resistencia a la corrosión.