Tubo de proceso de carburo de silicio

El tubo de proceso de carburo de silicio Semicorex es un componente crucial en el ámbito de la fabricación de semiconductores, diseñado específicamente para su uso en hornos verticales empleados en diversas aplicaciones de procesamiento de semiconductores, como RTP y difusión. Este tubo especializado desempeña un papel fundamental a la hora de facilitar el tratamiento térmico controlado y preciso de obleas semiconductoras durante su recorrido a través de procesos de fabricación críticos.

Construido con carburo de silicio de alta pureza, este tubo de proceso de carburo de silicio exhibe una conductividad térmica excepcional, resistencia a temperaturas extremas y una resistencia mecánica excepcional. Las propiedades únicas de su material lo convierten en una opción ideal para aplicaciones que exigen temperaturas elevadas y entornos químicos hostiles que se encuentran comúnmente en el procesamiento de semiconductores.

En el horno vertical, el tubo de proceso de carburo de silicio proporciona una atmósfera protectora y controlada para las obleas semiconductoras mientras se someten a procesos como RTP. RTP implica ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento esenciales para activar dopantes, recocido y otros tratamientos térmicos cruciales para la fabricación de dispositivos semiconductores. La naturaleza robusta del tubo de proceso de carburo de silicio garantiza longevidad y confiabilidad en entornos térmicos y químicos tan exigentes, lo que contribuye a la eficiencia y precisión general del proceso de fabricación de semiconductores.