El cilindro de grafito recubierto de carburo de silicio Semicorex es la elección perfecta para aplicaciones de fabricación de semiconductores que requieren alta resistencia al calor y a la corrosión. Su excepcional conductividad térmica y propiedades de distribución de calor lo hacen ideal para su uso en procesos LPE y otros entornos de alta temperatura.
Cuando se trata de fabricación de semiconductores, el barril de grafito recubierto de carburo de silicio Semicorex es la mejor opción para un rendimiento y confiabilidad excepcionales. Su revestimiento de SiC de alta calidad y su densidad y conductividad térmica superiores proporcionan una distribución de calor y protección superiores incluso en los entornos corrosivos y de alta temperatura más desafiantes.
Nuestro cilindro de grafito recubierto de carburo de silicio garantiza un perfil térmico uniforme, garantizando el mejor patrón de flujo de gas laminar. Evita que cualquier contaminación o impurezas se difundan en la oblea, lo que la hace ideal para su uso en entornos de salas blancas. Semicorex es un fabricante y proveedor a gran escala de susceptor de grafito recubierto de SiC en China, y nuestros productos tienen una buena ventaja de precio. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en la industria de los semiconductores.
Parámetros del barril de grafito recubierto de carburo de silicio
Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC |
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Propiedades de SiC-CVD |
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Estructura cristalina |
Fase β de la FCC |
|
Densidad |
gramos/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamaño de grano |
µm |
2~10 |
Pureza química |
% |
99.99995 |
Capacidad calorífica |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimación |
℃ |
2700 |
Fuerza flexural |
MPa (RT 4 puntos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) |
430 |
Expansión Térmica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductividad térmica |
(W/mK) |
300 |
Características del barril de grafito recubierto de carburo de silicio
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen buena densidad y pueden desempeñar un buen papel protector en entornos de trabajo corrosivos y de alta temperatura.
- El susceptor recubierto de carburo de silicio utilizado para el crecimiento de monocristales tiene una superficie muy plana.
- Reducir la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el sustrato de grafito y la capa de carburo de silicio, mejorar efectivamente la fuerza de unión para evitar grietas y delaminación.
- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
- Alto punto de fusión, resistencia a la oxidación a altas temperaturas, resistencia a la corrosión.