Barcos de oblea de cerámica de carburo de silicio

Selección de materiales de primera calidad

Las excelentes propiedades de la cerámica de carburo de silicio Semicorexbarcos de oblease deben a las materias primas de alta calidad. Fabricadas con material SiSiC de grado semiconductor y recubiertas con un revestimiento CVD SiC, las obleas cerámicas de carburo de silicio exhiben las siguientes excelentes propiedades.

1. Pureza ultraalta, libre de liberación de impurezas metálicas.

Impureza del sustrato: <100 ppm

Impureza del recubrimiento CVD SiC: <1 ppm

2.Estabilidad térmica superior

Las obleas de cerámica de carburo de silicio pueden funcionar de manera constante en condiciones de alta temperatura de 1250 ℃, ofreciendo una deformación mínima y una resistencia a la fluencia.

3.Alta resistencia mecánica

Carburo de silicioPosee alta dureza y resistencia al desgaste, lo que permite que las obleas de cerámica de carburo de silicio Semicorex resistan rayones, abrasiones y daños, por lo que funcionan bien durante el funcionamiento a largo plazo y son resistentes a los daños.

4.Excepcional resistencia a la corrosión

Debido a que el carburo de silicio es resistente a la corrosión de ácidos y álcalis fuertes, las obleas cerámicas de carburo de silicio Semicorex pueden mantener su integridad estructural y rendimiento funcional incluso en condiciones de trabajo altamente corrosivas.

Diseño estructural optimizado

Los botes de obleas de cerámica de carburo de silicio Semicorex están diseñados para el procesamiento de obleas por lotes; su estructura estructural optimizada garantiza un soporte estable de obleas por lotes y una estabilidad constante del proceso para cada oblea.

Estructura de soporte vertical de 1,3 postes

La estructura vertical de las obleas cerámicas de carburo de silicio Semicorex les permite adaptarse perfectamente a las aplicaciones de hornos verticales. Con esta estructura, las obleas cerámicas de carburo de silicio emicorex pueden facilitar la circulación homogénea de los gases de proceso y la distribución uniforme de la energía térmica dentro del horno de alta temperatura.

2. Pellizcos de ranura distribuidos uniformemente

Los botes de oblea de cerámica de carburo de silicio Semicorex están equipados con múltiples ranuras mecanizadas con precisión en sus postes de soporte. Sus pellizcos de ranura espaciados uniformemente logran un espaciado de ranura adecuado, lo que permite que los barcos de obleas de cerámica de carburo de silicio aseguren firmemente las obleas semiconductoras, contribuyendo así a mejorar la consistencia de los resultados del procesamiento térmico de las obleas.

Con tantos rendimientos y funciones excelentes, los botes de obleas cerámicos de carburo de silicio Semicorex se utilizan ampliamente en procesos centrales de fabricación de obleas semiconductoras, como oxidación, difusión, implantación de iones y recocido a alta temperatura.