Semicorex es su socio para mejorar el procesamiento de semiconductores. Nuestros recubrimientos de carburo de silicio son densos, resistentes a altas temperaturas y a productos químicos, y a menudo se utilizan en todo el ciclo de fabricación de semiconductores, incluido el procesamiento de obleas y obleas de semiconductores y la fabricación de semiconductores.
Los componentes cerámicos de SiC de alta pureza son cruciales para los procesos en el semiconductor. Nuestra oferta abarca desde piezas consumibles para equipos de procesamiento de obleas, como botes de obleas de carburo de silicio, paletas en voladizo, tubos, etc. para epitaxia o MOCVD.
Ventajas para los procesos de semiconductores
Las fases de deposición de películas delgadas, como la epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manipulación de obleas, como el grabado o el implante de iones, deben soportar altas temperaturas y una limpieza química intensa. Semicorex suministra una construcción de carburo de silicio (SiC) de alta pureza que proporciona una resistencia al calor superior y una resistencia química duradera, incluso uniformidad térmica para un espesor y resistencia constantes de la capa Epi.
Tapas de cámara →
Las tapas de cámara utilizadas en el procesamiento de crecimiento de cristales y manipulación de obleas deben soportar altas temperaturas y una limpieza química agresiva.
Paleta voladiza →
Cantilever Paddle es un componente crucial utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en hornos de difusión o LPCVD durante procesos como difusión y RTP.
Tubo de proceso →
Process Tube es un componente crucial, diseñado específicamente en diversas aplicaciones de procesamiento de semiconductores, como RTP y difusión.
Barcos de oblea →
Wafer Boat se utiliza en el procesamiento de semiconductores y ha sido meticulosamente diseñado para garantizar que las delicadas obleas se mantengan seguras durante las etapas críticas de producción.
Anillos de entrada →
Anillo de entrada de gas recubierto de SiC mediante equipo MOCVD El crecimiento compuesto tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión, lo que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos.
Anillo de enfoque →
Semicorex suministra el anillo de enfoque recubierto de carburo de silicio que es realmente estable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Mandril de oblea →
Los mandriles de oblea de vacío cerámicos ultraplanos Semicorex están recubiertos con SiC de alta pureza en el proceso de manipulación de oblea.
Semicorex también dispone de productos cerámicos en Alúmina (Al2O3), Nitruro de Silicio (Si3N4), Nitruro de Aluminio (AIN), Zirconia (ZrO2), Cerámica Compuesta, etc.
El brazo robótico cerámico de alúmina Semicorex, también conocido como brazo robótico cerámico para manipulación de obleas o horquilla para manipulación de obleas de silicio cerámico, es un componente de equipo semiconductor de alto rendimiento. Su diseño tiene en cuenta los estrictos requisitos de la fabricación de semiconductores. Con su resistencia a altas temperaturas, resistencia al desgaste, estabilidad química y excelentes propiedades de aislamiento eléctrico, el brazo cerámico de alúmina desempeña un papel insustituible en la industria mundial de fabricación de semiconductores. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar brazos robóticos de cerámica de alúmina de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaLas propiedades avanzadas del material del tubo de horno de difusión de SiC Semicorex, que incluyen alta resistencia a la flexión, excelente resistencia a la oxidación y la corrosión, alta resistencia al desgaste, bajo coeficiente de fricción, propiedades mecánicas superiores a altas temperaturas y pureza ultra alta, lo hacen indispensable en la industria de los semiconductores. , particularmente para aplicaciones de hornos de difusión. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar tubos para hornos de difusión de SiC de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaCon propiedades de material de alta calidad, Semicorex SiC Diffusion Boat representa una funcionalidad óptima en un amplio espectro de parámetros operativos: dureza, resiliencia y resistencia térmica y química, etc. Esta elección de material es crucial para reducir los riesgos de contaminación, proteger las obleas y resistir la Condiciones exigentes presentes en los procesos de fabricación de semiconductores. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar barcos de difusión de SiC de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaLa placa de grabado Semicorex ICP es un componente avanzado de alto rendimiento diseñado específicamente para aplicaciones de semiconductores, fabricado con material de carburo de silicio (SiC). Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China*.
Leer másEnviar ConsultaEl reflector Semicorex SiC es un elemento fundamental en varios procesos de fabricación de semiconductores. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China*.
Leer másEnviar ConsultaLas placas de transferencia de calor de cerámica Semicorex SiC, basadas en SiC como material primario, se someten a sinterización a alta temperatura a 2250 °C, lo que da como resultado un cuerpo cerámico denso, de porosidad cero y altamente vitrificado con un contenido de SiC de ≥99,3 %. Con una resistencia a la flexión de ≥410 MPa y una conductividad térmica de 140 W/m.k, estas cerámicas son los únicos materiales capaces de resistir la corrosión de ácidos fuertes como el ácido fluorhídrico (HF) y el ácido sulfúrico (H2SO4) en la industria de los semiconductores. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar placas de transferencia de calor de cerámica SiC de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad. **
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