Manipulador de cerámica de alúmina

Manipulador de cerámica de alúmina.También se denomina efector final de manipulación de obleas y horquillas de cerámica de alúmina. Se instala en el robot manipulador de obleas y equivale a la mano del robot. Se utiliza para transportar, transportar y posicionar obleas semiconductoras.Obleas de silicioson extremadamente susceptibles a la contaminación de otras partículas, por lo que normalmente se manipulan en un entorno de vacío para garantizar la limpieza. Los manipuladores de cerámica de alúmina utilizan succión de presión negativa para eliminar obleas y transportar obleas semiconductoras a través de los movimientos telescópicos, giratorios y de elevación del brazo. Hay orificios de aire y ranuras de ventilación dentro del manipulador de cerámica de alúmina, que pueden formar un vacío al bombear aire, de modo que las obleas semiconductoras puedan ser adsorbidas mediante contacto ligero sin pellizcar ni dañar las obleas semiconductoras.

Es bien sabido que cuanto más pura es la composición decerámica de alúminaes decir, mayor será su fuerza. Los manipuladores de cerámica de alúmina Semicorex están hechos de cerámica de alúmina de alta pureza. Esto da como resultado una resistencia mecánica y una dureza excepcionales. Su resistencia al desgaste supera con creces la del acero y el acero cromado, lo que les permite mantener la precisión de la superficie a lo largo del tiempo en entornos de alta fricción, lo que reduce el riesgo de rayaduras de las obleas y las hace ideales para un manejo de alta precisión. Este manipulador de cerámica de alúmina tiene una alta resistividad. Sus excelentes propiedades de aislamiento eléctrico pueden prevenir eficazmente la interferencia electrostática y reducir el riesgo de adsorción de partículas para mantener limpia la superficie de la oblea. Además, el proceso de fabricación de semiconductores implica circuitos complejos y entornos de alto voltaje dentro del equipo. El manipulador cerámico de alúmina de alta resistencia bloquea eficazmente la conducción de corriente, lo que garantiza la seguridad eléctrica durante la manipulación de obleas semiconductoras. Gracias a la resistencia a altas temperaturas y la estabilidad térmica de la cerámica de alúmina, el manipulador se deforma muy poco durante el proceso de tratamiento térmico del semiconductor, puede posicionar con precisión las obleas y evitar la desviación de precisión causada por la deformación térmica. Además, este material tiene una excelente estabilidad química y es altamente resistente a la corrosión por ácidos, álcalis, metales fundidos, etc. No es fácil reaccionar con otras sustancias para liberar partículas contaminantes y puede proteger eficazmente las piezas semiconductoras de la contaminación química.