Semicorex es su socio para mejorar el procesamiento de semiconductores. Nuestros recubrimientos de carburo de silicio son densos, resistentes a altas temperaturas y a productos químicos, y a menudo se utilizan en todo el ciclo de fabricación de semiconductores, incluido el procesamiento de obleas y obleas de semiconductores y la fabricación de semiconductores.
Los componentes cerámicos de SiC de alta pureza son cruciales para los procesos en el semiconductor. Nuestra oferta abarca desde piezas consumibles para equipos de procesamiento de obleas, como botes de obleas de carburo de silicio, paletas en voladizo, tubos, etc. para epitaxia o MOCVD.
Ventajas para los procesos de semiconductores
Las fases de deposición de películas delgadas, como la epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manipulación de obleas, como el grabado o el implante de iones, deben soportar altas temperaturas y una limpieza química intensa. Semicorex suministra una construcción de carburo de silicio (SiC) de alta pureza que proporciona una resistencia al calor superior y una resistencia química duradera, incluso uniformidad térmica para un espesor y resistencia constantes de la capa Epi.
Tapas de cámara →
Las tapas de cámara utilizadas en el procesamiento de crecimiento de cristales y manipulación de obleas deben soportar altas temperaturas y una limpieza química agresiva.
Paleta voladiza →
Cantilever Paddle es un componente crucial utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en hornos de difusión o LPCVD durante procesos como difusión y RTP.
Tubo de proceso →
Process Tube es un componente crucial, diseñado específicamente en diversas aplicaciones de procesamiento de semiconductores, como RTP y difusión.
Barcos de oblea →
Wafer Boat se utiliza en el procesamiento de semiconductores y ha sido meticulosamente diseñado para garantizar que las delicadas obleas se mantengan seguras durante las etapas críticas de producción.
Anillos de entrada →
Anillo de entrada de gas recubierto de SiC mediante equipo MOCVD El crecimiento compuesto tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión, lo que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos.
Anillo de enfoque →
Semicorex suministra el anillo de enfoque recubierto de carburo de silicio que es realmente estable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Mandril de oblea →
Los mandriles de oblea de vacío cerámicos ultraplanos Semicorex están recubiertos con SiC de alta pureza en el proceso de manipulación de oblea.
Semicorex también dispone de productos cerámicos en Alúmina (Al2O3), Nitruro de Silicio (Si3N4), Nitruro de Aluminio (AIN), Zirconia (ZrO2), Cerámica Compuesta, etc.
Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle se ha convertido en un componente indispensable en la industria fotovoltaica, desempeñando un papel fundamental en el manejo eficiente y preciso de obleas de silicio durante los procesos de difusión a alta temperatura. La paleta voladiza de SiC personalizada, diseñada meticulosamente a partir de cerámicas de carburo de silicio (SiC) de alto rendimiento, ofrece una combinación única de propiedades esenciales para mantener la integridad de las obleas, garantizar la uniformidad del proceso y maximizar la productividad en entornos exigentes de hornos de difusión.**
Leer másEnviar ConsultaEl rodamiento Semicorex SiC, con su excepcional dureza, resistencia e inercia química, se ha convertido en un material fundamental para aplicaciones exigentes de ingeniería en diversas industrias. Cuando se fabrica en rodamientos, el SiC desbloquea un nuevo nivel de rendimiento y confiabilidad, particularmente en entornos caracterizados por temperaturas extremas, sustancias corrosivas y estrictos requisitos de pureza. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar rodamientos de SiC de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaEl anillo de sello de carburo de silicio Semicorex se ha convertido en una tecnología habilitante fundamental dentro de la industria de los semiconductores, que ofrece rendimiento y confiabilidad incomparables frente a condiciones de proceso cada vez más exigentes. Su combinación única de propiedades de materiales lo hace ideal para una amplia gama de aplicaciones, lo que garantiza un tiempo de actividad óptimo del equipo, ciclos de vida extendidos de los componentes y, en última instancia, un menor costo total de propiedad. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar anillos de sello de carburo de silicio de alto rendimiento. que fusiona calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaLos anillos aislantes de nitruro de aluminio Semicorex son componentes indispensables en la fabricación avanzada de semiconductores, particularmente en procesos de tratamiento térmico de alta frecuencia. Su combinación única de estabilidad a altas temperaturas, propiedades de sellado superiores, conductividad térmica excepcional y durabilidad inherente los hace esenciales para garantizar un control preciso del proceso, altos rendimientos de los dispositivos y una vida útil prolongada del equipo en el exigente entorno de la fabricación de semiconductores. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar anillos aislantes de nitruro de aluminio de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaLos mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio Semicorex ofrecen una atractiva combinación de propiedades que los hacen ideales para los exigentes requisitos del procesamiento de obleas semiconductoras. Su capacidad para proporcionar una sujeción de obleas segura y uniforme, una excelente gestión térmica y resistencia a entornos de procesamiento hostiles se traduce en un rendimiento mejorado del dispositivo, mayores rendimientos y costos de fabricación reducidos. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
Leer másEnviar ConsultaLos mandriles de inspección de obleas de SiC Semicorex son habilitadores críticos para la fabricación avanzada de semiconductores y abordan las crecientes demandas de precisión, limpieza y rendimiento. Las propiedades superiores de sus materiales se traducen en beneficios tangibles durante todo el proceso de fabricación de obleas y, en última instancia, contribuyen a mayores rendimientos, un mejor rendimiento del dispositivo y menores costos generales de fabricación. En Semicorex nos dedicamos a fabricar y suministrar mandriles de inspección de obleas de SiC de alto rendimiento que fusionan calidad con rentabilidad.**
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