Paletas voladizas cerámicas SIC

semicorexPaletas voladizas cerámicas SICson componentes cruciales para mover los portadores de obleas dentro y fuera de los hornos. Se utilizan ampliamente en equipos de procesamiento térmico, como hornos de oxidación, difusión y LPCVD (deposición química de vapor a baja presión) en la fabricación de semiconductores y fotovoltaicos.

Debido a la excelente resistencia mecánica, estabilidad térmica, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la oxidación, resistencia al choque térmico y resistencia a la corrosión química del carburo de silicio unido por reacción (RBSIC), es adecuado para la fabricación de paletas voladizas de carburo de silicio de gran tamaño.

semicorexCerámica SICLas paletas en voladizo obtienen su alta capacidad de carga de la resistencia mecánica inherente y la rigidez del material de carburo de silicio unido por reacción (RBSiC) de alta calidad. Capaces de soportar la pesada carga de obleas de silicio, estas paletas optimizan el rendimiento de los ciclos de difusión individuales y ayudan a mejorar la eficiencia de la producción.

Las propiedades superiores del material del carburo de silicio unido por reacción permiten que las paletas voladizas cerámicas SIC tengan una excelente estabilidad en entornos operativos de alta temperatura, lo que garantiza la concentricidad de la oblea de silicio y el tubo del horno, lo que hace que procesos como la difusión y la pasivación sean más uniformes. Esta estabilidad evita eficazmente la deformación o daño a la paleta en voladizo de carburo de silicio causado por altas temperaturas y cargas pesadas, lo que reduce el riesgo de daños resultantes en las obleas de silicio o fallas del equipo.

Las paletas voladizas de cerámica Semicorex SiC emplean el proceso de impresión 3D de una sola pieza, que es fundamental para mantener la precisión dimensional y la consistencia de la forma de los componentes. Este diseño de paletas voladizas de cerámica de SiC también garantiza una perfecta compatibilidad con los sistemas de hornos de difusión. Su robusta estructura en voladizo permite transferencias suaves y sin vibraciones, minimizando la posibilidad de rotura o desviación de la oblea durante la carga y descarga.

La calidad es una prioridad absoluta para Semicorex. Todas las paletas en voladizo de carburo de silicio terminadas deben someterse a múltiples procedimientos de prueba, incluidas verificaciones de precisión dimensional y evaluaciones de propiedades del material, para garantizar su calidad superior. Si tiene alguna necesidad de compra, no dude en contactarnos.