Casete de oblea de SiC

El casete de oblea Semicorex SiC, también conocido como bote de oblea en mosaico, fue desarrollado específicamente para operaciones de oxidación, difusión y recocido a temperaturas superiores a 1200 °C. Los casetes proporcionan un importante soporte mecánico, así como alineación para muchas obleas a la vez durante el uso del horno de alta temperatura, y exhiben una gran estabilidad mecánica y dimensional durante el estrés térmico y posteriormente.  La demanda de materiales ultrapuros y térmicamente estables para los sistemas de manipulación de obleas está aumentando a medida que los dispositivos semiconductores disminuyen de tamaño y aumentan su rendimiento.

El casete está hecho de alta pureza.carburo de silicio, también hay recubrimientos que se pueden aplicar para obtener beneficios aún mayores. El SiC tiene una excelente estabilidad al choque térmico, la corrosión y la deformación dimensional.  El SiC tiene una dureza, inercia química y conductividad térmica únicas, por lo que es un material ideal para este entorno de proceso. El SiC, en comparación con las alternativas de cuarzo y alúmina, no disminuirá sus propiedades mecánicas y químicas a altas temperaturas de procesamiento, lo que reducirá el riesgo de contaminación y mejorará la uniformidad del proceso de obleas durante los procesos de fabricación.

La pureza ultraalta del casete de oblea de SiC exhibe resistencia a la entrada de contaminantes metálicos o iónicos en la cámara de proceso; algo que es absolutamente necesario para que la alta pureza cumpla con los requisitos de los procesos avanzados de fabricación de semiconductores. Al minimizar las fuentes de contaminantes, los casetes de carburo de silicio aumentarán el rendimiento de las obleas y la confiabilidad del dispositivo.

La tecnología de mecanizado de precisión de Semicorex permite que cada casete se produzca con tolerancias estrictas, paso de ranura uniforme y alineación paralela. El mecanizado de precisión de los materiales permite una carga y descarga suave de las obleas, lo que reduce la posibilidad de rayones al manipularlas. El espaciado preciso de las ranuras permite una temperatura y un flujo de aire uniformes en todas las obleas, lo que promueve la uniformidad en la oxidación y la difusión al tiempo que disminuye la variabilidad del proceso.

El SiC tiene una excelente conductividad térmica, estabilidad dimensional y proporciona un rendimiento confiable bajo ciclos térmicos repetidos. El material es estable y no se deforma ni se agrieta; su alta rigidez mantiene la integridad estructural con alta temperatura durante largos períodos de tiempo, lo que disminuye significativamente la tensión mecánica en las obleas y al mismo tiempo limita la probabilidad de que se generen partículas no deseadas durante la manipulación debido a la fricción o la microvibración.

Además,SicLa inercia de frente a los productos químicos protege las obleas de la reacción a los gases de proceso (por ejemplo, oxígeno, hidrógeno, amoníaco) que normalmente intervienen durante el procesamiento. Los casetes de obleas son estables en atmósferas oxidantes y no oxidantes y pueden incorporarse al flujo de trabajo del horno a través de una serie de procesos como oxidación, difusión, LPCVD y recocido.

Para cumplir con requisitos de procesos específicos, Semicorex ofrece casetes de oblea de SiC personalizados en varios tamaños, número de ranuras y configuraciones. Cada unidad se somete a rigurosas inspecciones de calidad y tratamientos de superficie para garantizar suavidad, limpieza y precisión dimensional. El pulido de superficie opcional reduce aún más la generación de partículas y mejora la compatibilidad con los sistemas automatizados de manipulación de obleas.