Mandriles electrostáticos de cerámica

Los mandriles electrostáticos cerámicos Semicorex son componentes de adsorción electrostática de precisión hechos de cerámica de alúmina y nitruro de aluminio de alto rendimiento, que utiliza el principio de adsorción electrostática para sujetar y fijar obleas. Es ampliamente utilizado en los campos de fabricación de semiconductores. Semicorex cuenta con tecnología avanzada, materiales de alta calidad y productos rentables. Esperamos convertirnos en su socio proveedor confiable en China.

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Descripción del Producto

Mandriles electrostáticos de cerámicason componentes de precisión que utilizan el campo electrostático generado entre electrodos y obleas para sujetar y fijar obleas. Se aplican ampliamente en campos como los semiconductores, las pantallas planas y la óptica, y son componentes centrales de equipos de alta gama como dispositivos PVD, máquinas de grabado e implantadores de iones.

En comparación con los mandriles mecánicos tradicionales y los mandriles de vacío, los mandriles electrostáticos cerámicos tienen muchas ventajas en el campo de la fabricación de semiconductores. Este mandril electrostático de cerámica utiliza electricidad estática para aplanar y sujetar uniformemente las obleas en su superficie. Esta fuerza de adsorción uniforme puede mantener el objeto adsorbido relativamente plano, evitandoobleadeformaciones o deformaciones que pueden ser causadas por mandriles mecánicos tradicionales omandriles de vacíoy garantizar que la oblea mantenga una precisión de procesamiento adecuada para procesos de semiconductores de alta precisión.

Algunos mandriles electrostáticos cerámicos tienen funciones de calentamiento integradas, que pueden controlar con precisión la temperatura de la oblea mediante gas de retorno o electrodos de calentamiento internos, adaptarse a los estrictos requisitos de temperatura de diferentes procesos y mejorar la estabilidad del procesamiento.

A diferencia de los mandriles mecánicos, los mandriles electrostáticos cerámicos reducen las piezas mecánicas móviles, reducen el impacto de las partículas contaminantes en la calidad de la oblea, protegen eficazmente la limpieza de la superficie de la oblea y mejoran el rendimiento del producto.

Los mandriles electrostáticos cerámicos ofrecen una amplia compatibilidad. Pueden acomodar obleas de distintos tamaños y materiales, incluidos silicio, arseniuro de galio y carburo de silicio, para satisfacer diversas necesidades de fabricación de semiconductores.

Pueden funcionar de manera estable en entornos de alto vacío, como la implantación de iones y CVD, superando la limitación de los portabrocas de vacío tradicionales que no pueden absorber obleas en un entorno de vacío y cumpliendo perfectamente los requisitos del proceso de implantación de iones, deposición química de vapor (CVD) y otros procesos en la fabricación de semiconductores.