Tuberías de sic

Las tuberías de SIC semicorex son piezas de cerámica para sistemas de hornos de semiconductores.  Tienen propiedades únicas que incluyen alta transmisión térmica y resistencia a la alta temperatura y química que se requiere en aplicaciones semiconductoras donde existen condiciones ambientales extremas de alta temperatura y química que se esperan y donde las propiedades son deseables, durabilidad, eficiencia energética y condiciones de proceso únicas, que permite ser económicos para ser económicos en los ambientes de fabricación de semiconductores avanzados.

Las tuberías SIC semicorex usan un grano fino de alta purezacarburo de silicioEso se fabrica para tener una estabilidad mecánica excepcional de alta temperatura como resultado de métodos y técnicas de sinterización y recristalización avanzadas. La habilitación del SIC de alto rendimiento da como resultado una resistencia mecánica excepcional y la retención de la estabilidad térmica a altas temperaturas de funcionamiento. SIC tiene una dureza excepcional que mitiga el desgaste o la posible deformación.  Además, los atributos asociados con las propiedades de SIC son los coeficientes de baja combustible de la expansión térmica son beneficiosos porque limitan el estrés térmico, ya que habrá requisitos para ciclar este material entre el calor extremo alto y de bajo funcionamiento. En todas estas consideraciones, tienen una utilidad especial para aplicaciones ideales en hornos de difusión, hornos de oxidación y sistemas LPCVD/PECVD para mantener las condiciones de proceso máximas estables son beneficiosos para eliminar o limitar los defectos que también son metrics relacionadas con obleas o materiales con condiciones de proceso altamente estables, incluso.

Otra utilidad importante de las tuberías SIC son los altos perfiles de conducción térmica en condiciones específicas y los diseños de hornos aplicables para producir altas tasas de conductiva y, de manera crucial, una distribución de temperatura uniforme y constante en todo el proceso.  Este comportamiento confiable permite que las obleas estén expuestas a distribuciones de temperatura semicales en intervalos de tiempo razonables y, además, a limitar los gradientes térmicos para mitigar las obleas distorsionadas y/o deservadas de fondo plano, al tiempo que mejora las condiciones de deposición de la película más uniforme.

La estabilidad y la resistencia química es otro factor de rendimiento importante.  En los procesos de semiconductores, el tubo de horno está sujeto a la influencia de gases altamente reactivos, incluidos oxígeno, hidrógeno, amoníaco y todos los halógenos, que pueden degradar los materiales convencionales de manera rápida. La microestructura densa y no porosa, junto con la naturaleza químicamente inerte de SIC, la protege contra la oxidación y la corrosión al tiempo que entrega un rendimiento operativo y mecánico en el entorno de proceso extremo.  La durabilidad de los hornos SIC les ayuda a mantener la integridad de la forma y la precisión dimensional durante largos períodos de tiempo, lo cual es importante para el control y la estabilidad del proceso.

Las tuberías SIC se pueden fabricar en una amplia gama de tamaños y espesores de pared, de forma geométrica para adaptarse a los diseños de hornos y las necesidades de procesos.  Las características de mecanizado de precisión exacta también se mantienen durante el diseño y la producción de tuberías SIC para que las tolerancias operativas puedan ser apretadas, con superficies internas suaves y excelente concentricidad para mantener un equilibrio de flujo de gas laminar y perfiles térmicos uniformes. El pulido de la superficie y los recubrimientos se pueden proporcionar como opciones de tratamiento que mejorarán el rendimiento al reducir la generación de partículas y mejorar la resistencia a la corrosión.

Las tuberías SIC tienen claras ventajas operativas y de costos en comparación con materiales alternativos como el cuarzo o las tuberías de alúmina.  El costo inicial de los componentes SIC puede ser ligeramente mayor, pero la vida útil del producto, la reducción de la rotura y los requisitos de mantenimiento más bajos resulta en un costo total de propiedad que es menor costo que los materiales y tuberías alternativas.

Para concluir, semicorexSicLas tuberías son la mejor opción para aplicaciones de hornos de semiconductores, ya que proporcionan el mejor rendimiento térmico, resistencia mecánica, resistencia química y confiabilidad para entornos de producción exigentes. Este material mejora la estabilidad del proceso y ayuda en el ahorro y eficiencia de costos bajos (es decir, un menor consumo de energía). Las tuberías SIC son un material fundamental para la fabricación moderna de semiconductores.