Sic barcos verticales

Los barcos verticales semicorex sic son portadores de obleas de ingeniería, diseñados y fabricados para proporcionar la mayor estabilidad térmica, mecánica y química para el procesamiento de semiconductores del horno vertical. Construido de alta purezacarburo de silicio, Creemos que son el mejor equilibrio de fuerza, durabilidad y limpieza para el procesamiento térmico de obleas muy avanzado, observados como oxidación, difusión, LPCVD y recocido en sistemas de hornos verticales.

Los entornos de procesamiento del horno vertical requieren un sistema de soporte de obleas que pueda soportar exposiciones repetidas a alta temperatura, a menudo superior a 1.200 ° C, y permanecer dimens-sionalmente estable sin problemas de contaminación. Los barcos verticales SIC sobresalen en su robustez en estas situaciones debido a las propiedades mecánicas y térmicas intrínsecas del carburo de silicio recristalizado o CVD. Su coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo garantiza una deformación o distorsión mínima debido al rápido ciclo térmico. Además, la alta conductividad térmica ofrece la mayor homogeneidad de temperatura local en todas las obleas, lo que es crítico para la consistencia de obleas a obras en el grosor de la capa, los perfiles de dopaje y el rendimiento eléctrico; Aspectos importantes de la fabricación de alto volumen en la industria de semiconductores.

En comparación con los barcos de cuarzo tradicionales, los barcos verticales SIC ofrecen una fuerza mecánica superior y una vida útil prolongada. El cuarzo tiende a ser frágil y se desvió con el tiempo, particularmente en las químicas agresivas del horno, lo que lleva a mayores costos de reemplazo y posibles interrupciones de producción. En contraste, el carburo de silicio mantiene su integridad incluso después de una exposición prolongada a gases corrosivos como el cloro, el HCl o el amoníaco, que son comunes en diversos procesos de difusión y LPCVD. Su desgaste excepcional y resistencia a la oxidación reduce en gran medida la generación de partículas, lo que ayuda a salvaguardar las superficies de la oblea de la contaminación y la formación de defectos.

Los barcos verticales SIC también ofrecen un beneficio significativo en términos de procesamiento ultra limpio. El material SIC de alta pureza se procesa bajo una diligencia estricta para reducir los metales contaminantes de trazas identificables que pueden interferir con las características operativas de los dispositivos semiconductores. Las superficies de la embarcación vertical SIC están bien terminadas con características de ángulo recto que minimizan la posibilidad de desprendimiento de micropartículas. Las superficies SIC son químicamente inertas y no reaccionan con los gases de proceso y, por lo tanto, son menos propensos a la contaminación. A este respecto, los barcos verticales SIC son muy adecuados para el extremo frontal de la línea (FEOL) y las operaciones de procesamiento de obleas de la línea trasera (BEOL).

Los barcos verticales SIC también ofrecen flexibilidad de diseño. Cada barco vertical puede ser específico del diseño para acomodar múltiples diámetros de obleas (obleas de 150 mm, 200 mm o 300 mm) y el número de ranura y el espacio se pueden utilizar para cumplir con los requisitos del proceso. El mecanizado de precisión y el control dimensional permiten una alineación de obleas adecuadas y el soporte de obleas minimizando la probabilidad de cualquier micro-tricks o grietas de estrés durante la carga, procesamiento y descarga. Además, si se requiere uniformidad de temperatura superior y / o menos masa térmica para un proceso particular, se pueden incorporar geometrías optimizadas y diseños de ranuras en configuraciones de botes verticales SIC, sin sacrificar ninguna propiedad mecánica.

Otra ventaja es el mantenimiento y la eficiencia operativa. La construcción rígida deSicLos barcos verticales reducen el tiempo de reemplazo y la frecuencia, minimizando así el tiempo de inactividad o el costo de la propiedad. La resistencia al choque térmico de SIC permite ciclos más cortos de calentamiento y enfriamiento para ofrecer un mayor rendimiento en las líneas de producción. El mantenimiento o limpieza de barcos verticales SIC también es muy simple; El material puede soportar la mayoría de los procesos de limpieza húmedos o secos convencionales comunes en los fabricantes de semiconductores, como la limpieza química con ácidos y hornear a alta temperatura.

En esta era moderna de la sofisticada fabricación de semiconductores, donde la mejora del rendimiento, el control de contaminación y la estabilidad en el proceso tienen toda importancia, los barcos verticales sic ofrecen una verdadera ventaja tecnológica. Se ocupan bien de los desafíos físicos y químicos de las aplicaciones de hornos verticales y contribuyen a la optimización general del proceso al ofrecer integridad de obleas, resultados consistentes y una vida útil más larga de equipos.